[实用新型]一种离子注入机用减振装置

权利要求书

1.一种离子注入机用减振装置，包括离子注入机主体（1），其特征在于，所述离子注入机主体（1）底端两侧的中部均固定设有固定块（2），两个所述固定块（2）的两侧分别开设有四个通口（3），四个所述通口（3）分别与两个支撑板（4）的外壁穿插连接，两个所述支撑板（4）顶端的中部分别与两个第一固定杆（5）外壁的一侧穿插连接，两个所述第一固定杆（5）的底端分别固定设置在两个第二固定杆（8）的顶端，两个所述第二固定杆（8）的外壁分别与两个固定块（2）的底端穿插连接，两个所述第二固定杆（8）的底端分别固定设有两个第二弹簧（9），两个所述第二弹簧（9）的底端分别固定设置在底板（15）顶端两侧的中部。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用减振装置，其特征在于：两个所述支撑板（4）底端的两侧分别固定设有四个第一移动杆（11），四个所述第一移动杆（11）内壁的两侧分别开设有八个滑槽，八个所述滑槽分别与八个滑轨（13）滑动连接，八个所述滑轨（13）分别固定设置在四个第二移动杆（12）外壁的两边侧，四个所述第二移动杆（12）的外壁分别与四个第一移动杆（11）的底端穿插连接，四个所述第二移动杆（12）的底端分别固定设置在底板（15）顶端两侧的两端。

3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用减振装置，其特征在于：两个所述支撑板（4）顶端的两侧均固定设有两个支撑块（10），四个所述支撑块（10）的顶端分别固定设置在离子注入机主体（1）底端两侧的两端。

4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用减振装置，其特征在于：两个所述第一固定杆（5）的顶部分别固定设有两个限位环（6）。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用减振装置，其特征在于：两个所述第一固定杆（5）的外壁分别套设有两个第一弹簧（7），两个所述第一弹簧（7）的顶端分别固定设置在两个支撑板（4）底端的中部，两个所述第一弹簧（7）的底端固定设置在两个第二固定杆（8）的顶端。

6.根据权利要求2所述的一种离子注入机用减振装置，其特征在于：四个所述第二移动杆（12）的外壁分别套设有四个第三弹簧（14），四个所述第三弹簧（14）的底端分别固定设置在四个第一移动杆（11）内部的底端。