[实用新型]一种离子注入机用减振装置

说明书

本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用减振装置，包括离子注入机主体，离子注入机主体底端两侧的中部均固定设有固定块，两个固定块的两侧分别开设有四个通口，四个通口分别与两个支撑板的外壁穿插连接，本实用新型通过设有固定块和支撑板，两个支撑块向下移动分别带动两个支撑板向下移动，两个支撑板向下移动分别对两个第一弹簧进行挤压，两个固定块向下移动带动两个第一固定杆向下移动，两个第一固定杆向下移动带动两个第二固定杆向下移动，两个第二固定杆向下移动分别对两个第二弹簧进行挤压，通过这种方式在对离子注入机主体进行搬运和移动造成离子注入机主体振动时，对其进行缓冲，防止振动对设备中电子元件造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机的技术领域，具体为一种离子注入机用减振装置。

背景技术

离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速之后得到几百千电子能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入。

在现有生活中，传统的离子注入机没有减振装置，无法对机器进行缓冲，在离子注入机进行搬运和移动的时候，很容易产生振动，进而可能对设备中的电子元件造成损坏。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子注入机用减振装置，具有减振装置优点，解决了传统的离子注入机没有减振装置的问题。

（二）技术方案

为实现上述具有减振装置的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用减振装置，包括离子注入机主体，所述离子注入机主体底端两侧的中部均固定设有固定块，两个所述固定块的两侧分别开设有四个通口，四个所述通口分别与两个支撑板的外壁穿插连接，两个所述支撑板顶端的中部分别与两个第一固定杆外壁的一侧穿插连接，两个所述第一固定杆的底端分别固定设置在两个第二固定杆的顶端，两个所述第二固定杆的外壁分别与两个固定块的底端穿插连接，两个所述第二固定杆的底端分别固定设有两个第二弹簧，两个所述第二弹簧的底端分别固定设置在底板顶端两侧的中部。

优选的，两个所述支撑板底端的两侧分别固定设有四个第一移动杆，四个所述第一移动杆内壁的两侧分别开设有八个滑槽，八个所述滑槽分别与八个滑轨滑动连接，八个所述滑轨分别固定设置在四个第二移动杆外壁的两边侧，四个所述第二移动杆的外壁分别与四个第一移动杆的底端穿插连接，四个所述第二移动杆的底端分别固定设置在底板顶端两侧的两端。

优选的，两个所述支撑板顶端的两侧均固定设有两个支撑块，四个所述支撑块的顶端分别固定设置在离子注入机主体底端两侧的两端。

优选的，两个所述第一固定杆的顶部分别固定设有两个限位环。

优选的，两个所述第一固定杆的外壁分别套设有两个第一弹簧，两个所述第一弹簧的顶端分别固定设置在两个支撑板底端的中部，两个所述第一弹簧的底端固定设置在两个第二固定杆的顶端。

优选的，四个所述第二移动杆的外壁分别套设有四个第三弹簧，四个所述第三弹簧的底端分别固定设置在四个第一移动杆内部的底端。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种离子注入机用减振装置，具备以下有益效果：

1、该离子注入机用减振装置，通过设有固定块和支撑板，两个支撑块向下移动分别带动两个支撑板向下移动，两个支撑板向下移动分别对两个第一弹簧进行挤压，两个固定块向下移动带动两个第一固定杆向下移动，两个第一固定杆向下移动带动两个第二固定杆向下移动，两个第二固定杆向下移动分别对两个第二弹簧进行挤压，通过这种方式在对离子注入机主体进行搬运和移动造成离子注入机主体振动时，对其进行缓冲，防止振动对设备中电子元件造成损坏。