[实用新型]一种离子注入机用检测装置有效
申请号: | 202022584863.1 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN213635896U | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 陈维 | 申请(专利权)人: | 无锡凯世通科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/244 |
代理公司: | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人: | 刘锦霞 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区硕放新3*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子 注入 检测 装置 | ||
1.一种离子注入机用检测装置,包括检测装置本体(1),其特征在于,所述检测装置本体(1)一侧的一端固定设有检测端(3),所述检测端(3)外壁的一侧固定设有定位扣(5),所述定位扣(5)一侧的两端均固定设有定位杆(6),两个所述定位杆(6)外壁的一端均滑动设有定位环(7),两个定位杆(6)外壁的另一端均螺纹设有卡扣(8),两个所述定位环(7)的两端均穿插设有第一螺丝(9),且两个定位环(7)的两端分别与两个第一螺丝(9)外壁的两端穿插连接,两个所述第一螺丝(9)外壁的两端均螺纹设有第一螺帽(10)。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用检测装置,其特征在于:所述检测端(3)外壁一端的两侧均固定设有定位块(11)。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用检测装置,其特征在于:所述检测装置本体(1)顶部的一端固定设有定位架(2),所述定位架(2)的顶端与检测端(3)外壁的底端卡合连接。
4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用检测装置,其特征在于:所述检测装置本体(1)顶部另一端的两侧均固定设有滑轨(4),两个所述滑轨(4)均滑动设有定位条(14),其中一个所述定位条(14)的一端固定设有第一夹环(17),所述第一夹环(17)的一端与另一个定位条(14)的一端固定连接,所述第一夹环(17)顶部的两端均穿插设有卡条(19),两个所述卡条(19)外壁的一端均穿插设有第二夹环(18),且两个卡条(19)外壁的一端分别与第二夹环(18)顶部的两端穿插连接。
5.根据权利要求4所述的一种离子注入机用检测装置,其特征在于:两个所述定位条(14)的一端均固定设有限位块(16),两个所述定位条(14)的一侧和两个滑轨(4)的一侧均等距离开设有多个通孔(13),两个所述定位条(14)一端开设的通孔(13)分别与两个滑轨(4)一端开设的通孔(13)通过固定条(15)穿插连接。
6.根据权利要求4所述的一种离子注入机用检测装置,其特征在于:其中一个滑轨(4)一侧的顶端固定设有连杆(12),所述连杆(12)的一端与另一个滑轨(4)一侧的一端固定连接。
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