[实用新型]一种离子注入机用检测装置

说明书

本实用新型涉及检测装置领域，且公开了一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，检测端外壁的一侧固定设有定位扣，定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，本实用新型离子注入机用检测装置,通过检测端外壁固定设有定位扣，定位扣一侧的两端通过定位杆固定两个定位环，两个定位环卡合在检测口外壁的两端，两个定位环的两端通过第一螺丝和第一螺帽固定对应连接，使得检测口稳定在检测端的一侧，使得检测装置本体的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机用检测装置技术领域，具体为一种离子注入机用检测装置。

背景技术

离子注入机是高压小型加速器中的一种，离子注入机主要由离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔五部分组成，离子注入机的检测装置可以检测离子注入剂量的均匀性，便于随时检测调整离子的注入剂量。

而现有的离子注入机用的检测装置通常是检测端卡合连接在离子注入机的一端，因此长时间工作振动或者碰撞移动的情况下，容易导致检测端与离子注入机的端口分离，从而导致离子注入剂量测量不准或者难以测量，影响离子注入机的正常工作效率，引发材料丢失等安全隐患，因此需要一种离子注入机用检测装置。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子注入机用检测装置，具有稳定连接等优点，解决了检测端连接脱离的问题。

（二）技术方案

为实现上述稳定连接的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，所述检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，所述检测端外壁的一侧固定设有定位扣，所述定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个所述定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，两个定位杆外壁的另一端均螺纹设有卡扣，两个所述定位环的两端均穿插设有第一螺丝，且两个定位环的两端分别与两个第一螺丝外壁的两端穿插连接，两个所述第一螺丝外壁的两端均螺纹设有第一螺帽。

优选的，所述检测端外壁一端的两侧均固定设有定位块。

优选的，所述检测装置本体顶部的一端固定设有定位架，所述定位架的顶端与检测端外壁的底端卡合连接。

优选的，所述检测装置本体顶部另一端的两侧均固定设有滑轨，两个所述滑轨均滑动设有定位条，其中一个所述定位条的一端固定设有第一夹环，所述第一夹环的一端与另一个定位条的一端固定连接，所述第一夹环顶部的两端均穿插设有卡条，两个所述卡条外壁的一端均穿插设有第二夹环，且两个卡条外壁的一端分别与第二夹环顶部的两端穿插连接。

优选的，两个所述定位条的一端均固定设有限位块，两个所述定位条的一侧和两个滑轨的一侧均等距离开设有多个通孔，两个所述定位条一端开设的通孔分别与两个滑轨一端开设的通孔通过固定条穿插连接。

优选的，其中一个滑轨一侧的顶端固定设有连杆，所述连杆的一端与另一个滑轨一侧的一端固定连接。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种离子注入机用检测装置，具备以下有益效果：

1、该离子注入机用检测装置，通过检测端外壁固定设有定位扣，定位扣一侧的两端通过定位杆固定两个定位环，两个定位环卡合在检测口外壁的两端，两个定位环的两端通过第一螺丝和第一螺帽固定对应连接，使得检测口稳定在检测端的一侧，使得检测装置本体的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。