[实用新型]芯片条带检测设备

说明书

本实用新型涉及一种芯片条带检测设备包括检测装置、取送装置、输送装置，检测装置包括检测平台，检测平台的台面上设有检测台，检测台上设有定位机构，定位机构的上方设有检测头，取送装置包括设在检测平台上的升降旋转电磁取送机构，升降旋转电磁取送机构包括旋转电磁取送悬臂，输送装置包括传送带。旋转电磁取送悬臂的一端利用电磁力拾取传送带上的盛放待检测芯片条带的铁磁性托盘，旋转电磁取送悬臂的另一端利用电磁力拾取定位机构上的盛放已检测芯片条带的铁磁性托盘，旋转电磁取送悬臂旋转换位来交换两者的位置。本实用新型采用检测装置、取送装置、输送装置相结合的芯片条带检测方案，具有避免人工取放操作，检测效率高的特点。

技术领域

本实用新型涉及一种用于芯片制造的抽检设备，特别涉及一种改进的芯片条带检测设备，属于芯片加工生产设备领域。

背景技术

芯片是指内含集成电路的硅片，通过半导体晶圆表面制造。芯片在批量生产过程中需要进行抽检，芯片封装前需要对线弧、焊球等进行检验，避免线弧和焊球缺陷对芯片性能和良率的影响。现有的芯片条带检验，都是检验人员用手拉动芯片条带到显微镜下，并且手动调整芯片条带的位置来满足观察需要，这种方式容易对芯片造成人为的损害，使得芯片条带的残品率增加，而且手动调整芯片条带位置的定位精度低，抽检工作效率低。

实用新型内容

本实用新型芯片条带检测设备公开了新的方案，采用检测装置、取送装置、输送装置相结合的芯片条带检测方案，解决了现有方案采用人工手动取放检测容易损坏芯片，以及检测效率低的问题。

本实用新型芯片条带检测设备包括检测装置、取送装置、输送装置，检测装置包括检测平台，检测平台的台面上设有检测台，检测台上设有定位机构，定位机构的上方设有检测头，取送装置包括设在检测平台上的升降旋转电磁取送机构，升降旋转电磁取送机构包括旋转电磁取送悬臂，输送装置包括传送带。

旋转电磁取送悬臂的一端利用电磁力拾取传送带上的盛放待检测芯片条带的铁磁性托盘，旋转电磁取送悬臂的另一端利用电磁力拾取定位机构上的盛放已检测芯片条带的铁磁性托盘，旋转电磁取送悬臂旋转换位，旋转电磁取送悬臂的一端将盛放待检测芯片条带的铁磁性托盘放在定位机构上，旋转电磁取送悬臂的另一端将盛放已检测芯片条带的铁磁性托盘放在传送带上。

进一步，本方案的定位机构包括纵向定位机构、横向定位机构，纵向定位机构包括呈平行布置的纵向螺杆、纵向导杆，纵向螺杆的一端与纵向电机传动连接，横向定位机构底座的一端与纵向螺杆形成螺纹传动连接，横向定位机构底座的另一端与纵向导杆形成滑动导向连接，纵向电机通过纵向螺杆驱动横向定位机构底座沿纵向运动，横向定位机构底座上设有横向定位机构，横向定位机构包括横向螺杆，横向螺杆的一端与横向电机传动连接，横向螺杆与横向滑块座形成螺纹传动连接，横向滑块座上设有芯片条带，横向电机通过横向螺杆驱动横向滑块座沿横向运动。

进一步，本方案的检测头设在升降龙门架的升降横梁上，升降横梁的一端与升降龙门架的一侧立柱内的升降螺柱形成螺纹传动连接，升降螺柱的下端伸入检测平台内与检测平台内的底部形成轴向定位连接，检测平台内设有升降电机，升降电机的输出轴上设有主动齿轮，主动齿轮与升降螺柱上的从动齿轮啮合，升降横梁的另一端与升降龙门架的另一侧立柱内的与升降螺柱呈平行设置的升降导柱形成滑动导向连接，升降电机通过升降螺柱驱动升降横梁上下运动，检测头检测定位机构上的芯片条带。

进一步，本方案的升降旋转电磁取送机构设在取送机构龙门架的上端的横梁上，升降旋转电磁取送机构包括设在横梁上的旋转电机，旋转电机的输出轴向下穿过横梁与取送悬臂升降机构传动连接，取送悬臂升降机构的输出端与旋转电磁取送悬臂的中部连接，取送悬臂升降机构驱动旋转电磁取送悬臂上下运动，旋转电机驱动旋转电磁取送悬臂旋转换位。