[实用新型]一种半导体真空设备用气密检测装置

权利要求书

1.一种半导体真空设备用气密检测装置，包括外套件(1)、密封圈(2)、活动件(3)、弹簧(4)、封盖(5)和螺丝(6)，其特征在于：所述活动件(3)一端为左杆(302)，密封圈(2)套设在左杆(302)外圆面的杆槽(301)内，所述活动件(3)位于外套件(1)的内部空间内，所述活动件(3)另一端为右杆(304)，所述弹簧(4)套设在右杆(304)外部，所述封盖(5)套设在外套件(1)的套件罐(103)外。

2.根据权利要求1所述的一种半导体真空设备用气密检测装置，其特征在于：所述外套件(1)一端为管状的套件横管(101)另一端为罐状的套件罐(103)，所述套件横管(101)中部设有竖立的套件立管(102)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体真空设备用气密检测装置，其特征在于：所述活动件(3)中部为圆形的中片(303)，所述右杆(304)背向中片(303)的端面圆心开有端孔(305)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体真空设备用气密检测装置，其特征在于：所述封盖(5)的轮廓呈圆形盖状，所述封盖(5)的圆心部分开有开口，所述封盖(5)焊接有盖夹(501)，所述螺丝(6)位于盖夹(501)开口部分的通孔和螺纹孔内部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体真空设备用气密检测装置，其特征在于：所述外套件(1)的套件立管(102)上安装有单向阀，所述封盖(5)的盖夹(501)内部夹持固定有百分表，百分表的探头顶在活动件(3)右端的端孔(305)内部。