[实用新型]一种高纯锗多晶制备用区熔炉有效
申请号: | 202022597326.0 | 申请日: | 2020-11-11 |
公开(公告)号: | CN213570823U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 谢安扬 | 申请(专利权)人: | 怀化市洪江恒昌锗业科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/08 | 分类号: | C30B29/08;C30B28/08 |
代理公司: | 长沙鑫泽信知识产权代理事务所(普通合伙) 43247 | 代理人: | 李翠梅 |
地址: | 418400 *** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 多晶 制备 熔炉 | ||
1.一种高纯锗多晶制备用区熔炉,包括安装板(1),其特征在于,所述安装板(1)的顶部对称固定连接有支撑杆(7),所述支撑杆(7)的顶部固定连接有U形槽板(9),两个所述U形槽板(9)的内壁滑动连接有同一个石英管(13),所述安装板(1)的顶部固定连接有支撑板(20),所述支撑板(20)上设置有驱动石英管(13)滑动的传动组件,所述石英管(13)的底部内壁滑动连接有石英舟(14),所述石英管(13)上设置有对石英舟(14)进行限制的限位组件,所述石英管(13)管口卡合密封盖(15),所述安装板(1)的顶部固定安装有加热炉(2),所述加热炉(2)的内壁固定连接有燃料放置板(8),所述加热炉(2)内设置有助燃组件。
2.根据权利要求1所述的一种高纯锗多晶制备用区熔炉,其特征在于,所述传动组件包括石英管(13)底部转动连接的转动板(21),所述转动板(21)上开设有滑槽(12),所述支撑板(20)的一侧转动连接有第一滑块(22),所述第一滑块(22)和滑槽(12)滑动连接,所述支撑板(20)上设置有带动石英管(13)滑动的动力组件。
3.根据权利要求2所述的一种高纯锗多晶制备用区熔炉,其特征在于,所述动力组件包括支撑板(20)的一侧固定安装的电动机(24),所述电动机(24)的输出轴贯穿支撑板(20)的一侧并延伸到支撑板(20)的另一侧,所述电动机(24)的输出轴固定套设有转动盘(23),所述转动盘(23)的一侧转动连接有第二滑块(25),所述第二滑块(25)和滑槽(12)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种高纯锗多晶制备用区熔炉,其特征在于,所述限位组件包括石英管(13)的底部内壁固定连接的限位块(11),所述限位块(11)的一侧和石英舟(14)的一侧相接触,所述石英管(13)的顶部外壁固定连接有圆管(18),所述石英管(13)的顶部滑动连接有限位杆(17),所述限位杆(17)的外壁套设有拉簧(19),所述拉簧(19)的底部和石英管(13)的顶部外壁固定连接,所述圆管(18)的内壁滑动连接有第三滑块(26),所述第三滑块(26)固定套设在限位杆(17)外壁上,所述拉簧(19)的顶部和第三滑块(26)的底部固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种高纯锗多晶制备用区熔炉,其特征在于,所述助燃组件包括安装板(1)的顶部固定安装的鼓风机(5),所述鼓风机(5)的出气口连接有导管(3),所述导管(3)的一端贯穿加热炉(2)的一侧内壁并延伸到加热炉(2)内,所述导管(3)的顶部固定连接有多个导气碟(4)。
6.根据权利要求1所述的一种高纯锗多晶制备用区熔炉,其特征在于,所述石英管(13)的顶部外壁固定连接有氢气出气管(10),所述氢气出气管(10)贯穿石英管(13)的顶部外壁并延伸到石英管(13)内,所述密封盖(15)上固定连接有氢气进气管(16)。
7.根据权利要求2所述的一种高纯锗多晶制备用区熔炉,其特征在于,所述安装板(1)的底部四角均固定安装有万向轮(6),所述万向轮(6)为刹车万向轮。
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