[实用新型]激光加工设备

说明书

本申请提出了一种激光加工设备，其中，该激光加工设备包括激光加工模组和工件固定机构，激光加工模组设置在待加工工件的上方，激光加工模组发射出的激光照射在待加工工件上；工件固定机构用于固定待加工工件；待加工工件的待加工区域的下表面与其下方的液体介质接触。本申请的激光加工设备，通过将待加工工件的待加工区域的下表面与其下方的液体介质接触，可以避免加工时产生火花，避免产生重铸层，同时起到降温的作用，去除加工产生的粉尘，消除挂渣现象，还可以避免产生微裂纹，提升加工效果。

技术领域

本申请涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种激光加工设备。

背景技术

在激光加工(打孔、切割、开槽、消融等)工件的过程中会产生一些粉尘，随着加工的样本量越大(如加工厚度增加或者加工行程增加)，粉尘就会聚集并附着在工件的待加工区域附近，称为挂渣。挂渣现象会导致很多的加工产品不合格，无法满足生产要求。而且，在激光加工过程中还会产生火花，火花溅到工件壁面上时会产生较厚的重铸层，也会产生大量的微裂纹，严重影响加工质量。

为了解决上述问题，现有技术中通常采用以下几种处理方式：

1、通过吸附空气的方式将粉尘带走，但这种方式很难达到一边激光加工一边立刻将工件粉尘清除干净，并且降低热量效果不好。

2、通过将加工工件浸没在工作液中，让工作液运动带走激光加工产生的挂渣。但对于一些需精密加工的器件，如果浸没在工作液中，激光光斑进入工作液后聚焦位置会发生变化。而且由于工作液深度不同，产生的光程差不一样，这样不利于将激光聚焦到指定的工作面上进行精准的动态加工，还会存在明显的熔渣现象。

此外，待加工工件的表面涂覆有薄膜，而薄膜对激光非常敏感，如果用高能量的激光去加工玻璃，由于热量过高，会导致薄膜受到影响发生变色，并形成一层白雾。这层白雾将严重影响后面制备成的产品的电学性能。

申请内容

本申请的目的旨在至少在一定程度上解决上述的技术问题之一。

为此，本申请的目的在于提出一种激光加工设备，可以带走热量，避免加工时产生火花，避免产生重铸层，同时起到降温的作用，去除加工产生的粉尘，消除挂渣现象，还可以避免产生微裂纹，提升加工效果。

为了实现上述目的，本申请提出一种激光加工设备，包括激光加工模组和工件固定机构，

所述激光加工模组设置在待加工工件的上方，所述激光加工模组发射出的激光照射在所述待加工工件上；

所述工件固定机构用于固定待加工工件；

所述待加工工件的待加工区域的下表面与其下方的液体介质接触。

可选的，所述工件固定机构为载物台或夹持装置。

可选的，所述载物台上设有孔或槽，所述待加工工件固定在所述载物台上，所述待加工工件的待加工区域对准所述孔或所述槽。

可选的，所述孔或所述槽的面积不小于所述待加工工件的待加工区域的下表面的面积。

可选的，所述槽中填满所述液体介质，使所述待加工工件的待加工区域与所述液体介质接触。

可选的，所述槽的周侧或底部设有进液口和出液口。

可选的，所述激光加工设备还包括喷洒装置，所述喷洒装置设置在所述待加工工件的下方，在激光加工前或加工过程中，所述喷洒装置通过孔或槽向所述待加工工件的下表面喷洒液体介质。

可选的，所述激光加工设备还包括喷洒装置，所述夹持装置夹持固定所述待加工工件，在激光加工前或加工过程中，所述喷洒装置直接向所述待加工工件的下表面喷洒液体介质。