[实用新型]一种简易高效的植球装置

权利要求书

1.一种简易高效的植球装置，其特征是所述植球装置包括吸附平台（1）和网板，所述网板包括助焊剂印刷网板（9）和植球网板（10），吸附平台（1）上设有两路独立真空管路，分别吸附网板和待植球芯片，所述真空管路由光孔和螺纹孔组成，螺纹孔通过接头与外部真空管路连接；吸附平台（1）上表面设有方形沉槽（2）和四个光孔、侧面设有两个螺纹孔，方形沉槽（2）与待植球芯片厚度相同，其中两个光孔与一个螺纹孔相通形成吸附助焊剂印刷网板（9）或植球网板（10）的独立真空管路，另两个光孔与另一个螺纹孔相通形成吸附待植球芯片的真空管路；所述助焊剂印刷网板（9）上有助焊剂印刷网板光孔阵列（11），所述植球网板（10）上表面设有植球网板方形盲槽（12）和植球网板光孔阵列（13）。

2.根据权利要求1所述的一种简易高效的植球装置，其特征是所述光孔包括第一光孔（3）、第二光孔（4）、第三光孔（5）、第四光孔（6），第一光孔（3）、第二光孔（4）位于吸附平台（1）上表面，第三光孔（5）、第四光孔（6）位于方形沉槽（2）上表面；所述螺纹孔包括第一螺纹孔（7）、第二螺纹孔（8），第一螺纹孔（7）、第二螺纹孔（8）分别位于两个不同侧面，光孔（3）、光孔（4）和第一螺纹孔（7）相通形成吸附网板的真空管路，第三光孔（5）、第四光孔（6）和第二螺纹孔（8）相通形成吸附待植球芯片的真空管路。

3.根据权利要求1所述的一种简易高效的植球装置，其特征是所述助焊剂印刷网板（9）通过硅片或玻璃制作，硅片或玻璃厚度为0.05mm~0.1mm，长和宽＞待植球芯片尺寸，通过腐蚀或激光开通孔阵列，通孔直径为0.6~0.8倍的球径。

4.根据权利要求1所述的一种简易高效的植球装置，其特征是所述植球网板（10）通过硅片或玻璃制作，厚度≥1.8倍的球径，上表面通过腐蚀形成植球网板方形盲槽（12），深度≥球径，长和宽＞待植球芯片尺寸，植球网板方形盲槽（12）的底面通过干法腐蚀或激光开通孔阵列，通孔直径等于1.2倍的球径，深度等于0.8倍的球径。