[实用新型]一种激光光路检偏装置及自动校正装置

权利要求书

1.一种激光光路检偏装置，其特征在于：包括激光器（10），光路调整构件（20）、光束采样镜（30）、聚焦物镜（40）、载物台（50）、检测光聚焦透镜（60）和ccd模组（70）；

所述激光器（10）发射出的光束通过光路调整构件（20）依次经光束采样镜（30）和聚焦物镜（40）聚焦至载物台（50）；

所述光路调整构件（20）和聚焦物镜（40）之间设置有至少两组光束采样镜（30），每组所述光束采样镜（30）将部分光束通过所述检测光聚焦透镜（60）反射至ccd模组（70）。

2.根据权利要求1所述的一种激光光路检偏装置，其特征在于：所述激光器（10）发射出的光束通过反射光路反射至光路调整构件（20）；

所述反射光路至少包括一组反射镜（11）。

3.根据权利要求1所述的一种激光光路检偏装置，其特征在于：所述光路调整构件（20）包括依次设置的第一光路调整构件（21）、第二光路调整构件（22）。

4.根据权利要求1所述的一种激光光路检偏装置，其特征在于：所述光束采样镜（30）包括依次设置的第一光束采样镜（31）和第二光束采样镜（32）；

所述第一光束采样镜（31）将部分光束通过第一检测光聚焦透镜（61）反射至第一ccd模组（71）；

所述第二光束采样镜（32）将部分光束通过第二检测光聚焦透镜（62）反射至第二ccd模组（72）。

5.根据权利要求1所述的一种激光光路检偏装置，其特征在于：所述光束采样镜（30）和所述ccd模组（70）之间设置有减光构件（80）。

6.根据权利要求5所述的一种激光光路检偏装置，其特征在于：所述减光构件（80）为衰减片，所述减光构件包括第一减光构件（81）和第二减光构件（82），分别设置于第一光束采样镜（31）和第二光束采样镜（32）的反射光路上。

7.根据权利要求1所述的一种激光光路检偏装置，其特征在于：所述光束采样镜（30）的反射率为0.5%~2%。

8.一种激光光路自动校正装置，其特征在于：采用如权利要求1-7任一项所述的激光光路检偏装置。

9.根据权利要求8所述激光光路自动校正装置，其特征在于：所述光路调整构件（20）上设置有驱动件，所述驱动件与所述ccd模组（70）采用通信连接。

10.根据权利要求9所述激光光路自动校正装置,其特征在于：第一ccd模组（71）和第二ccd模组（72）存在像素差。