[实用新型]一种激光光路检偏装置及自动校正装置

说明书

本实用新型涉及激光加工领域，特别涉及一种激光光路检偏装置及自动校正装置；其中，激光光路检偏装置包括激光器，光路调整构件，光束采样镜，检测光聚焦透镜，ccd模组，聚焦物镜，载物台；本设计通过对检测光路设置至少两个光束采样镜，并适配相应的ccd模组和光路调整构件来对光束的准直性进行检测与修正；本实用新型通过设置至少两个光束采样镜对核心光轴进行多点实时监测，通过ccd模组的反馈判断光束是否准直并驱动光路调整构件修正光束来确保至少两个观测点的光束偏移状况，保证光束准直性；通过设置至少两个ccd模组的像素差来实现至少两个光路调整构件的先后作动，保证了光路的准直性，提高了修正准确度。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，特别涉及一种激光光路检偏装置及自动校正装置。

背景技术

激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的。与传统加工技术相比，激光加工技术具有材料浪费少、在规模化生产中成本效应明显、对加工对象具有很强的适应性等优势特点。随着激光加工技术、设备、工艺研究的不断深进，将具有更广阔的应用远景。

CN103170728B的专利《激光加工装置》，授权公告日为2016年3月2日，公开了一种激光加工装置其具有对由激光光线振荡器振荡发出的激光光线的照射位置的偏移进行修正的功能。该激光加工装置具有卡盘工作台、激光光线照射构件和加工进给构件，激光光线照射构件具有：激光光线振荡器，其振荡发出激光光线；聚光器，其具有将激光光线聚光并照射到被加工物的聚光透镜；光路调整构件，其配设在激光光线振荡器与聚光器之间，用于调整激光光线的光路；反射镜，其将激光光线朝聚光器反射；检测光聚光透镜，其将少量透过反射镜的检测光线聚光；摄像构件，其对检测光线的聚光光斑摄像；和控制构件，其求出检测光线的聚光光斑相对于适当位置的偏移量和方向，根据偏移量和方向控制光路调整构件以将聚光光斑定位在适当位置。

然而，经由上述激光加工装置的检偏及修正装置调整后的光线会出现光线准直性变差的问题，影响定位的精准性，且经由单独一个修正装置进行工作无法将光路调节为标定前的状态，无法保证光路的准直性，导致准确度不足。

实用新型内容

为解决上述背景技术提及的经由检偏及修正装置调整后的光线会出现光线准直性变差影响定位的精准性，且经由单独一个修正装置进行工作无法将光路调节为标定前的状态，无法保证修正准确度的问题，本实用新型提供的一种激光光路检偏装置，包括激光器，光路调整构件，光束采样镜，检测光聚焦透镜，ccd模组，聚焦物镜，载物台。

所述激光器发射出的光束通过光路调整构件依次经光束采样镜和聚焦物镜聚焦至载物台；

所述光路调整构件和聚焦物镜之间设置有至少两组光束采样镜，每组所述光束采样镜将部分光束通过所述检测光聚焦透镜反射至ccd模组。

优选的，所述激光器发射出的光束通过反射光路反射至光路调整构件；所述反射光路包括至少一组反射镜。

优选的，所述光路调整构件包括依次设置的第一光路调整构件、第二光路调整构件。

优选的，所述光束采样镜包括依次设置的第一光束采样镜和第二光束采样镜；

所述第一光束采样镜将部分光束通过第一检测光聚焦透镜反射至第一ccd模组；

所述第二光束采样镜将部分光束通过第二检测光聚焦透镜反射至第二ccd模组。

优选的，所述光束采样镜和所述ccd模组之间设置有减光构件。

优选的，所述减光构件为衰减片，所述减光构件包括第一减光构件和第二减光构件，分别设置于第一光束采样镜和第二光束采样镜的反射光路上。

优选的，所述光束采样镜的反射率为0.5％～2％。

本实用新型还提供一种采用上述激光光路检偏装置的自动校正装置，包括：