[实用新型]基板加热装置

权利要求书

1.一种基板加热装置，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体内设有加热腔室；

加热部，所述加热部位于所述加热腔室内，且用于加热待加热基板，所述加热部位于待加热基板的一侧；

隔热部，所述隔热部位于所述加热腔室内，且所述隔热部位于所述待加热基板的远离所述加热部的一侧，所述隔热部用于对所述待加热基板进行隔热，以使所述待加热基板上靠近所述加热部一侧与靠近所述隔热部一侧之间具有预设的温度差。

2.根据权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，所述加热部位于所述待加热基板的下方，所述隔热部位于所述待加热基板的上方。

3.根据权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，还包括支撑架，所述加热部和所述隔热部位于所述支撑架上。

4.根据权利要求3所述的基板加热装置，其特征在于，沿所述支撑架的竖直方向，所述支撑架上设有若干个格挡，至少两个相邻的所述格挡之间形成容纳空间，所述加热部和所述隔热部位于至少一个所述容纳空间内，且所述加热部位于靠近下方的格挡，所述隔热部位于靠近上方的所述格挡。

5.根据权利要求4所述的基板加热装置，其特征在于，每一个所述容纳空间内均设有所述加热部和所述隔热部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板加热装置，其特征在于，还包括承载部，所述承载部位于所述加热部和所述隔热部之间，用于承载所述待加热基板；沿竖直方向，所述加热部在所述承载部上的正投影面积与所述待加热基板在所述承载部上的正投影面积相等。

7.根据权利要求6所述的基板加热装置，其特征在于，所述隔热部与所述承载部之间具有预设间隙。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的基板加热装置，其特征在于，所述加热部为红外线加热器或加热板。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的基板加热装置，其特征在于，所述隔热部为陶瓷隔热层。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的基板加热装置，其特征在于，还包括温度检测部，所述温度检测部用于检测所述待加热基板的温度。