[实用新型]吹气管、吹气式液位计和硅片清洗装置

权利要求书

1.一种吹气管，其特征在于，包括管体，所述管体的一端设有进气口，所述管体的另一端设有出气口，所述出气口沿所述管体的径向向外突出设置。

2.根据权利要求1所述的吹气管，其特征在于，所述出气口为喇叭口。

3.根据权利要求2所述的吹气管，其特征在于，所述喇叭口的角度为15°～30°。

4.根据权利要求1所述的吹气管，其特征在于，所述管体的内径为1/2英寸～3/4英寸之间。

5.一种吹气式液位计，其特征在于，包括如权利要求1至4中任一项所述的吹气管。

6.根据权利要求5所述的吹气式液位计，其特征在于，所述吹气管中吹入的气体为N₂。

7.一种硅片清洗装置，其特征在于，包括用于清洗硅片的内槽、用于盛接由所述内槽中溢出的清洗液的外槽和用于测量所述外槽内的液位高度的第一吹气式液位计，所述第一吹气式液位计为权利要求5或6所述的吹气式液位计，所述第一吹气式液位计的吹气管的出气口伸入至所述外槽的内部。

8.根据权利要求7所述的硅片清洗装置，其特征在于，所述第一吹气式液位计的吹气管的出气口靠近所述外槽的开口所在位置。

9.根据权利要求8所述的硅片清洗装置，其特征在于，所述外槽套设于所述内槽的外部，所述外槽的开口位置低于所述内槽的开口位置。

10.根据权利要求9所述的硅片清洗装置，其特征在于，所述硅片清洗装置还包括第二吹气式液位计，所述第二吹气式液位计用于测量所述内槽内的液位高度，所述第二吹气式液位计的吹气管的出气口伸入至所述内槽的底部。