[实用新型]载具识别装置以及载具有效
申请号: | 202022632384.2 | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN214004770U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 李时俊;余仲;王志民;肖荣峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;H01L21/673;H01L31/18;G01V8/20 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 林明校 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 识别 装置 以及 | ||
1.载具识别装置,设置到载具上,其中,所述载具包括板件,所述板件用于装载镀膜对象物,其特征在于,所述板件上设置有多个贯通所述板件的通孔部,所述通孔部当中的至少一个,被装在所述板件上的识别件堵住。
2.根据权利要求1所述的载具识别装置,其特征在于,所述通孔部设置在所述板件的垂直于载具的传输方向的方向的边缘位置处。
3.根据权利要求1所述的载具识别装置,其特征在于,多个所述通孔部呈阵列状间隔分布。
4.根据权利要求1所述的载具识别装置,其特征在于,还包括安装件,所述安装件安装到所述板件,所述识别件安装到所述安装件。
5.根据权利要求4所述的载具识别装置,其特征在于,所述安装件上开设有多个贯通的螺纹孔部,各所述螺纹孔部分别和各所述通孔部一一同轴,所述识别件为螺栓件,所述识别件和所述螺纹孔部螺合,以堵住多个所述通孔部当中的至少一个。
6.根据权利要求5所述的载具识别装置,其特征在于,所述通孔部呈直线状地排成一行,所述安装件呈长条状,所述螺纹孔部沿所述安装件的长度方向,以和所述通孔部之间的间隔相同的间隔,排成一行。
7.载具,其特征在于,所述载具上,设置有权利要求1至6中任一项所述的载具识别装置。
8.根据权利要求7所述的载具,其特征在于,所述板件包括两块,两块所述板件相互拼接,两块所述板件的厚度方向的一侧,设置有第一夹持件,另一侧设置有第二夹持件,所述第一夹持件和所述第二夹持件相互被锁紧,以夹持住两块所述板件。
9.根据权利要求8所述的载具,其特征在于,两块所述板件上,分别设置有多个贯通的槽部。
10.根据权利要求9所述的载具,其特征在于,所述载具上设置有多个所述载具识别装置。
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