[实用新型]载具识别装置以及载具

说明书

本实用新型公开了载具识别装置以及载具，其中，载具识别装置设置到载具上，其中，所述载具包括板件，所述板件用于装载镀膜对象物，所述板件上设置有多个贯通所述板件的通孔部，所述通孔部当中的至少一个，被装在所述板件上的识别件堵住。本发明的载具识别装置，由于在载具的板件上设置有多个通孔部，能够根据不同的载具，堵住板件的不同的通孔部以作为不同的载具的标识信息，因此，能够不受载具上附着的靶材粒子的影响而容易地对载具进行识别。

技术领域

本实用新型涉及镀膜装置领域，尤其涉及载具识别装置以及载具。

背景技术

在光伏电池的制造中，载具例如载板(也可以称载盘)用于装载硅片，并将硅片送入镀膜设备中进行镀膜。已知的硅片镀膜生产工序通常是将硅片放置在载具中，进入镀膜区对其中一面进行镀膜后，送至翻片区将硅片翻面，再重新送入镀膜区对另一面进行镀膜。

为了在生产过程中追溯各载具，载具上通常通过激光雕刻出用于追踪的流水号标识。然而，由于激光雕刻的流水号标识刻痕浅，经过镀膜后，载具上容易附着靶材粒子，这容易导致载具的流水号标识难以识别。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种载具识别装置，能够不受载具上附着的靶材粒子的影响而容易地对载具进行识别。此外，本实用新型还提出了设置有该载具识别装置的载具。

根据本实用新型第一方面实施例的载具识别装置，设置到载具上，其中，所述载具包括板件，所述板件用于装载镀膜对象物，所述板件上设置有多个贯通所述板件的通孔部，所述通孔部当中的至少一个，被装在所述板件上的识别件堵住。

根据本实用新型第一方面的载具识别装置，至少具有如下有益效果：由于在载具的板件上设置有多个通孔部，能够根据不同的载具，堵住板件的不同的通孔部以作为不同的载具的标识信息，因此，能够不受载具上附着的靶材粒子的影响而容易地对载具进行识别。

在一些实施例中，所述通孔部设置在所述板件的垂直于载具的传输方向的方向的边缘位置处。

在一些实施例中，多个所述通孔部呈阵列状间隔分布。

在一些实施例中，还包括安装件，所述安装件安装到所述板件所述识别件安装到所述安装件。

在一些实施例中，所述安装件上开设有多个贯通的螺纹孔部，各所述螺纹孔部分别和各所述通孔部一一同轴，所述识别件为螺栓件，所述识别件和所述螺纹孔部螺合，以堵住多个所述通孔部当中的至少一个。

在一些实施例中，所述通孔部呈直线状地排成一行，所述安装件呈长条状，所述螺纹孔部沿所述安装件的长度方向，以和所述通孔部之间的间隔相同的间隔，排成一行。

根据本实用新型第二方面实施例的载具，所述载具上，设置上述任一项的载具识别装置。

根据本实用新型第二方面实施例的载具，至少具有如下有益效果：由于在载具的板件上设置有多个通孔部，能够根据不同的载具，堵住板件的不同的通孔部以作为不同的载具的标识信息，因此，能够不受载具上附着的靶材粒子的影响而容易地对载具进行识别。

在一些实施例中，所述板件包括两块，两块所述板件相互拼接，两块所述板件的厚度方向的一侧，设置有第一夹持件，另一侧设置有第二夹持件，所述第一夹持件和所述第二夹持件相互被锁紧，以夹持住两块所述板件。

在一些实施例中，两块所述板件上，分别设置有多个贯通的槽部。

在一些实施例中，所述载具上设置有多个所述载具识别装置。

附图说明

图1是具有本实用新型的载具识别装置的载具的俯视图。

图2是图1的载具的仰视图。

图3是沿图1中的A-A箭头剖视并局部放大的视图。