[实用新型]一种晶圆生产加工专用组装装置

权利要求书

1.一种晶圆生产加工专用组装装置，包括装置本体（1），所述装置本体（1）表面靠近顶端的位置通过合页连接有柜门（2），其特征在于：所述装置本体（1）表面靠近中间的位置上设有固定板（3），所述固定板（3）背离装置本体（1）的表面上设有滑轨（4），所述滑轨（4）的外侧设有滑块（5），所述滑块（5）背离固定板（3）表面的两边边侧上分别设有握柄（6）、固定块（7），所述固定块（7）上设有电动伸缩杆（8），所述电动伸缩杆（8）穿过固定块（7）的顶端上设有稳固块（9），所述稳固块（9）上设有拉杆（10），所述拉杆（10）靠近装置本体（1）的端部上设有擦拭板（11）及拉杆（10）的外侧套设有第一弹簧（13）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装装置，其特征在于：所述固定板（3）为“U”型结构及固定板（3）通过螺丝旋合连接在装置本体（1）上，所述滑轨（4）焊接在固定板（3）表面的中间位置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装装置，其特征在于：所述滑块（5）面向固定板（3）的表面开设有“T”型结构的轨槽，所述滑轨（4）为“T”型结构，所述滑轨（4）与轨槽配合，所述固定板（3）两端表面靠近滑轨（4）的位置焊接有定位块。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装装置，其特征在于：所述固定块（7）焊接在滑块（5）上，所述稳固块（9）包括水平部与竖直部，所述电动伸缩杆（8）与固定块（7）、电动伸缩杆（8）与水平部均通过螺丝旋合连接，所述拉杆（10）一端为“T”型结构及依次贯穿水平部、竖直部、第一弹簧（13）的另一端与擦拭板（11）通过螺纹旋合连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装装置，其特征在于：所述擦拭板（11）面向柜门（2）的表面套设有海绵材料制造的擦拭垫，所述擦拭板（11）与柜门（2）贴合，所述拉杆（10）与稳固块（9）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装装置，其特征在于：所述装置本体（1）的底部设有底盒（12），所述底盒（12）的内部设有缓冲机构，所述缓冲机构包括第一移动板（14）、第一限位柱（15）、第二弹簧（16）、第二限位柱（17）、第二移动板（18）、第三弹簧（19），所述第一限位柱（15）位于底盒（12）上及第一限位柱（15）贯穿第二弹簧（16）、第一移动板（14），所述第二限位柱（17）位于第二移动板（18）上及第二限位柱（17）贯穿第三弹簧（19）。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆生产加工专用组装装置，其特征在于：所述底盒（12）包括“口”型结构的外框及底框，所述第一限位柱（15）底端位于底框上，且第一限位柱（15）靠近底框的四角位置，所述第二弹簧（16）位于第一移动板（14）、底框之间，所述第二限位柱（17）底端贯穿第一移动板（14）及顶端与第二移动板（18）连接，所述第三弹簧（19）位于第一移动板（14）、第二移动板（18）之间。