[实用新型]一种扩散炉的石英舟抓手有效

专利信息
申请号: 202022637701.X 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN213424958U 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 秦彬 申请(专利权)人: 杭州帕兹电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 姜宇
地址: 310000 浙江省杭州市萧山区萧山*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 石英 抓手
【权利要求书】:

1.一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,包括

基架箱(100);

导向传动机构(200),所述导向传动机构(200)包括传送杆(210)、导向抓手杆(220)和电动推杆(230),所述传送杆(210)滑动连接于所述基架箱(100)内部,所述导向抓手杆(220)设置有两个,其中一个导向抓手杆(220)固定贯穿于与所述基架箱(100)顶部一侧,另一个导向抓手杆(220)滑动贯穿于所述基架箱(100)顶部一侧,所述电动推杆(230)固定连接于所述基架箱(100)顶面一侧,所述电动推杆(230)输出端与另一个所述导向抓手杆(220)顶部一侧固定连接;

风冷散热机构(300),所述风冷散热机构(300)包括风机(310)、冷水箱组件(320)、盘管(330)和风管嘴(340),所述风机(310)固定连接于所述基架箱(100)内部一侧,所述冷水箱组件(320)固定连接于所述基架箱(100)内部另一侧,所述风管嘴(340)内嵌于所述基架箱(100)顶部一侧,所述风管嘴(340)朝向所述传送杆(210)顶面,所述风机(310)输出端与所述盘管(330)一端连通,所述盘管(330)位于所述冷水箱组件(320)内部,所述盘管(330)另一端与所述风管嘴(340)连通。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述基架箱(100)底部设置有支腿(110),所述支腿(110)底部固定连接有底板(120)。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述导向抓手杆(220)底部相对一侧均设置有缓冲垫(221)。

4.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述风机(310)输入端设置有滤网(311),所述滤网(311)内嵌于所述基架箱(100)一侧内部。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述冷水箱组件(320)包括箱体(321)、导热翅片(322)和制冷片(323),所述箱体(321)固定连接于所述基架箱(100)内部一侧,所述导热翅片(322)一侧固定贯穿于所述箱体(321)内部,所述制冷片(323)冷面与所述导热翅片(322)贴合连接。

6.根据权利要求5所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述制冷片(323)热面贴合连接有散热器(324),所述散热器(324)一侧设置有散热风扇(325)。

7.根据权利要求6所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述散热风扇(325)一侧设置有防护罩(326)。

8.根据权利要求5所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述箱体(321)顶部一侧设置有加水管(327),所述加水管(327)顶部设置有盖子(328)。

9.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述传送杆(210)顶部两侧设置有限位杆(211),所述限位杆(211)一侧与所述基架箱(100)内部一侧固定连接。

10.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述传送杆(210)底部设置有滚珠(212),所述传送杆(210)底部与所述滚珠(212)滑动连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州帕兹电子有限公司,未经杭州帕兹电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022637701.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top