[实用新型]一种扩散炉的石英舟抓手有效
申请号: | 202022637701.X | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN213424958U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 秦彬 | 申请(专利权)人: | 杭州帕兹电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 姜宇 |
地址: | 310000 浙江省杭州市萧山区萧山*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 石英 抓手 | ||
1.一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,包括
基架箱(100);
导向传动机构(200),所述导向传动机构(200)包括传送杆(210)、导向抓手杆(220)和电动推杆(230),所述传送杆(210)滑动连接于所述基架箱(100)内部,所述导向抓手杆(220)设置有两个,其中一个导向抓手杆(220)固定贯穿于与所述基架箱(100)顶部一侧,另一个导向抓手杆(220)滑动贯穿于所述基架箱(100)顶部一侧,所述电动推杆(230)固定连接于所述基架箱(100)顶面一侧,所述电动推杆(230)输出端与另一个所述导向抓手杆(220)顶部一侧固定连接;
风冷散热机构(300),所述风冷散热机构(300)包括风机(310)、冷水箱组件(320)、盘管(330)和风管嘴(340),所述风机(310)固定连接于所述基架箱(100)内部一侧,所述冷水箱组件(320)固定连接于所述基架箱(100)内部另一侧,所述风管嘴(340)内嵌于所述基架箱(100)顶部一侧,所述风管嘴(340)朝向所述传送杆(210)顶面,所述风机(310)输出端与所述盘管(330)一端连通,所述盘管(330)位于所述冷水箱组件(320)内部,所述盘管(330)另一端与所述风管嘴(340)连通。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述基架箱(100)底部设置有支腿(110),所述支腿(110)底部固定连接有底板(120)。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述导向抓手杆(220)底部相对一侧均设置有缓冲垫(221)。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述风机(310)输入端设置有滤网(311),所述滤网(311)内嵌于所述基架箱(100)一侧内部。
5.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述冷水箱组件(320)包括箱体(321)、导热翅片(322)和制冷片(323),所述箱体(321)固定连接于所述基架箱(100)内部一侧,所述导热翅片(322)一侧固定贯穿于所述箱体(321)内部,所述制冷片(323)冷面与所述导热翅片(322)贴合连接。
6.根据权利要求5所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述制冷片(323)热面贴合连接有散热器(324),所述散热器(324)一侧设置有散热风扇(325)。
7.根据权利要求6所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述散热风扇(325)一侧设置有防护罩(326)。
8.根据权利要求5所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述箱体(321)顶部一侧设置有加水管(327),所述加水管(327)顶部设置有盖子(328)。
9.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述传送杆(210)顶部两侧设置有限位杆(211),所述限位杆(211)一侧与所述基架箱(100)内部一侧固定连接。
10.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英舟抓手,其特征在于,所述传送杆(210)底部设置有滚珠(212),所述传送杆(210)底部与所述滚珠(212)滑动连接。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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