[实用新型]一种扩散炉的石英舟抓手有效
申请号: | 202022637701.X | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN213424958U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 秦彬 | 申请(专利权)人: | 杭州帕兹电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 姜宇 |
地址: | 310000 浙江省杭州市萧山区萧山*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 石英 抓手 | ||
本实用新型提供了一种扩散炉的石英舟抓手,属于石英舟技术领域。该扩散炉的石英舟抓手包括基架箱、导向传动机构和风冷散热机构。所述导向传动机构包括传送杆、导向抓手杆和电动推杆,所述风冷散热机构包括风机、冷水箱组件、盘管和风管嘴,所述风机固定连接于所述基架箱内部一侧,所述冷水箱组件固定连接于所述基架箱内部另一侧,所述风管嘴内嵌于所述基架箱顶部一侧,所述风管嘴朝向所述传送杆顶面,所述风机输出端与所述盘管一端连通,所述盘管位于所述冷水箱组件内部,所述盘管另一端与所述风管嘴连通。本实用新型方便对石英舟进行冷却散热处理,避免石英舟自然耗时长,从而增加了太阳能电池的制备效率。
技术领域
本实用新型涉及石英舟技术领域,具体而言,涉及一种扩散炉的石英舟抓手。
背景技术
在光伏太阳能行业,太阳能电池的制造要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网烧结六大工序。其中,扩散工序的目的是在硅片正面形成PN结,PN结在太阳光的照射光生伏打效应。光伏行业普遍采用管式扩散炉对硅片扩散,操作人员通过吸笔将花篮中的硅片吸住插入专门的石英舟里,然后将石英舟放入炉管中扩散。扩散后,石英舟通常放置在传送杆输出,待石英舟从炉管中出来冷却后,操作人员再用吸笔将硅片卸到花篮中。
目前,扩散炉的石英舟抓手不便对石英舟进行冷却散热处理,石英舟自然耗时长,从而降低了太阳能电池的制备效率。
实用新型内容
为了弥补以上不足,本实用新型提供了一种扩散炉的石英舟抓手,旨在改善扩散炉的石英舟抓手不便对石英舟进行冷却散热处理,石英舟自然耗时长,从而降低了太阳能电池的制备效率的问题。
本实用新型是这样实现的:
本实用新型提供一种扩散炉的石英舟抓手,包括基架箱、导向传动机构和风冷散热机构。
所述导向传动机构包括传送杆、导向抓手杆和电动推杆,所述传送杆滑动连接于所述基架箱内部,所述导向抓手杆设置有两个,其中一个导向抓手杆固定贯穿于与所述基架箱顶部一侧,另一个导向抓手杆滑动贯穿于所述基架箱顶部一侧,所述电动推杆固定连接于所述基架箱顶面一侧,所述电动推杆输出端与另一个所述导向抓手杆顶部一侧固定连接。
所述风冷散热机构包括风机、冷水箱组件、盘管和风管嘴,所述风机固定连接于所述基架箱内部一侧,所述冷水箱组件固定连接于所述基架箱内部另一侧,所述风管嘴内嵌于所述基架箱顶部一侧,所述风管嘴朝向所述传送杆顶面,所述风机输出端与所述盘管一端连通,所述盘管位于所述冷水箱组件内部,所述盘管另一端与所述风管嘴连通。
在本实用新型的一种实施例中,所述基架箱底部设置有支腿,所述支腿底部固定连接有底板。
在本实用新型的一种实施例中,所述导向抓手杆底部相对一侧均设置有缓冲垫。
在本实用新型的一种实施例中,所述风机输入端设置有滤网,所述滤网内嵌于所述基架箱一侧内部。
在本实用新型的一种实施例中,所述冷水箱组件包括箱体、导热翅片和制冷片,所述箱体固定连接于所述基架箱内部一侧,所述导热翅片一侧固定贯穿于所述箱体内部,所述制冷片冷面与所述导热翅片贴合连接。
在本实用新型的一种实施例中,所述制冷片热面贴合连接有散热器,所述散热器一侧设置有散热风扇。
在本实用新型的一种实施例中,所述散热风扇一侧设置有防护罩。
在本实用新型的一种实施例中,所述箱体顶部一侧设置有加水管,所述加水管顶部设置有盖子。
在本实用新型的一种实施例中,所述传送杆顶部两侧设置有限位杆,所述限位杆一侧与所述基架箱内部一侧固定连接。
在本实用新型的一种实施例中,所述传送杆底部设置有滚珠,所述传送杆底部与所述滚珠滑动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造