[实用新型]一种晶圆背面磨床的清洗组件

权利要求书

1.一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，包括外框体、冲洗组件以及清理组件，所述清理组件设置在外框体内，所述冲洗组件设置在外框体上，所述冲洗组件用以将洗涤液注入清理组件，

所述清理组件包括壳体部件、支撑部件、升降部件、甩干部件，所述甩干部件包括吸附件、转动件以及驱动件，所述吸附件与转动件相连接，所述驱动件与转动件相连接，所述驱动件带动转动件转动；所述甩干部件部分设置在壳体部件内，所述支撑部件设置在壳体部件一侧且与外框体相连接，所述升降部件设置在壳体部件下方且与甩干部件相连接，所述升降部件可带动甩干部件上下运动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，所述升降部件包括底板、底座、执行机构、导向柱、侧板以及连接板，所述底座与执行机构均设置在侧板上，所述侧板与连接板相连接，所述连接板与甩干部件相连接，所述底座套设在导向柱上，所述导向柱与底板相连接，所述底板设置在底座下方，所述执行机构与底板相配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，所述支撑部件包括固定板、支撑柱、第一支撑板以及第二支撑板，所述固定板与底板相连接，两个所述支撑柱设置在固定板上方两侧，所述第一支撑板套设在支撑柱上且位于固定板上方，所述第二支撑板套设在支撑柱上且位于第一支撑板上方。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，所述壳体部件包括上壳体以及下壳体，所述上壳体与下壳体相连通，所述第一支撑板与下壳体相连接，所述第二支撑板与上壳体相连接，所述连接板可在壳体部件内上下运动。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，所述转动件包括传动件、吸附轴、第一传动套以及第二传动套，所述传动件、第一传动套以及第二传动件均套设在吸附轴上且可绕吸附轴转动，所述第一传动套设置在传动件上方，所述第二传动套设置在第一传动套上方，所述吸附件设置在第二传动套上方且与吸附轴相连通。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，所述连接板上设置有漏水口。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆背面磨床的清洗组件，其特征在于，所述冲洗组件包括通液管以及连接块，所述通液管穿过连接块且延伸至壳体部件内，所述连接块与外框体相连接。