[实用新型]一种石英舟及硅片沉积装置

说明书

本实用新型涉及硅片沉积技术领域，公开一种石英舟及硅片沉积装置。其中石英舟包括第一端板、第二端板、至少两个支撑杆、第一舟杆和第二舟杆，第一端板和第二端板沿X方向间隔设置，支撑杆一端与第一端板连接，另一端与第二端板连接，第一舟杆与上部支撑杆连接，硅片能沿X方向立设于一对第一舟杆之间，且一对第一舟杆分别与硅片的两侧边抵接；第二舟杆与下部的支撑杆连接，第二舟杆与硅片的底边抵接。本实用新型通过设置第一舟杆和第二舟杆，实现对硅片的承载，且放置于第一舟杆和第二舟杆上的硅片与X方向平行，气流能均匀地流向每片硅片，保证硅片沉积均匀性和良品率；同时，在炉口和炉尾位置处也可放置硅片，大大提高了量产产能。

技术领域

本实用新型涉及硅片沉积技术领域，尤其涉及一种石英舟及硅片沉积装置。

背景技术

多晶硅的沉积是PASCON电池的关键步骤，对电池背面的接触、钝化以及电池整体的电流密度都极为关键。目前，通常将硅片放置于石英舟内，再将石英舟置于沉积炉内进行沉积。

现有技术中使用的石英舟如图1和图2所示，其中舟杆110沿X方向设置，且设置于两个端板120之间，由于沉积炉内气流沿X方向流动，放置于沿X方向设置的舟杆110上的硅片与气流流动方向垂直，使得炉口及炉尾片位置处的硅片沉积均匀性差，硅片上存在明显色差，为保证良品率，炉口和炉尾位置的舟杆110上不能放置硅片，严重影响量产产能；另外，与气流方向垂直放置的硅片容易受气流影响，出现搭片的现象，影响良品率。

所以，亟需一种石英舟，以解决上述量产产能低，良品率低的问题。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种石英舟及硅片沉积装置，沉积效果好，量产产能高、良品率高。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英舟，包括：

沿X方向间隔设置的第一端板和第二端板；

至少两个支撑杆，其一端与所述第一端板连接，另一端与所述第二端板连接；

沿所述X方向间隔相对设置的一对第一舟杆，所述第一舟杆与上部的所述支撑杆连接，硅片能沿所述X方向立设于一对所述第一舟杆之间，且一对所述第一舟杆能分别与所述硅片的两侧边抵接；

第二舟杆，所述第二舟杆与下部的所述支撑杆连接，一对所述第一舟杆之间至少设置有一个所述第二舟杆，所述第二舟杆能与所述硅片的底边抵接。

作为一种石英舟的优选方案，沿所述X方向设置有多对相对设置的所述第一舟杆。

作为一种石英舟的优选方案，相邻两对所述第一舟杆中，靠近的两个所述第一舟杆成一体式结构。

作为一种石英舟的优选方案，所述第一舟杆的侧部沿Y方向间隔设置有放置槽，所述硅片的侧边能置于所述放置槽内。

作为一种石英舟的优选方案，所述第二舟杆的顶部沿Y方向间隔设置有承接槽，所述硅片的底边能置于所述承接槽中。

作为一种石英舟的优选方案，一对所述第一舟杆对应有两个所述第二舟杆，一对所述第一舟杆靠近所述硅片的顶边设置，两个所述第二舟杆分别靠近所述硅片的两侧边设置。

作为一种石英舟的优选方案，所述第一端板和/或所述第二端板上设置有通气孔。

作为一种石英舟的优选方案，所述第一端板和所述第二端板的下边均有设置定位凸起。

作为一种石英舟的优选方案，所述第一端板远离所述第二端板的一面设置有第一搬运柱，所述第二端板远离所述第一端板的一面设置有第二搬运柱，所述第二搬运柱与所述第一搬运柱对应设置。

一种硅片沉积装置，包括以上任一方案所述的石英舟。

本实用新型的有益效果为：