[实用新型]一种半导体封装制造设备有效
申请号: | 202022646483.6 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN213242505U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 张乔栋;袁泉;杨雪松;李锋;王浩源;张子运 | 申请(专利权)人: | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D29/01;B01D29/64 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 张成文 |
地址: | 223001 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 制造 设备 | ||
本实用新型公开了一种半导体封装制造设备,涉及半导体封装技术领域,该半导体封装制造设备,包括机体,所述机体的顶端安装有安装架,且机体的顶部中间固定有封装模具,所述机体的内部由左至右依次安装有胶液箱、循环泵和过滤箱,且机体内部位于胶液箱的前侧固定有抽料机,所述循环泵的两端通过管道分别与胶液箱和过滤箱相连接,所述机体的内部顶端安装有收集斗,且收集斗的底部与过滤箱的顶部之间通过管道连接,本实用新型通过循环泵、收集斗、过滤箱和过滤网的设置,能够实现胶液的过滤,以便于胶液的回收,从而实现胶液的循环利用,有效的避免了胶液的浪费,有利用降低半导体的封装成本,可提高半导体生产的经济效益。
技术领域
本实用新型属于半导体封装技术领域,具体涉及一种半导体封装制造设备。
背景技术
半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成。而在半导体生产加工过程中,一般需要采用封装设备将半导体进行封装,以对半导体进行防护,便于半导体的使用。
在专利号为201921768700.X的中国专利中,提到了一种半导体封装制造设备,通过设置的顶板、电动推杆、伸缩架和安装座,可以控制胶体盒的升降,提高了半导体封装制造设备的灵活性,通过设置转动杆、紧固螺母和压板,可以通过转动把手实现压板的升降,让胶体盒内胶体从圆孔内流出,进行加工,但是该封装制造设备不能将多余的胶液进行回收,导致胶液浪费,造成半导体封装成本的增加,另外,不能实现原料箱的清理,容易导致胶液在原料箱中凝固,不便于原料箱的后续使用,影响设备的实用性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体封装制造设备,以解决上述背景技术中提出的不能将多余的胶液进行回收,导致胶液浪费,造成半导体封装成本的增加,另外不能实现原料箱的清理,容易导致胶液在原料箱中凝固,不便于原料箱的后续使用的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体封装制造设备,包括机体,所述机体的顶端安装有安装架,且机体的顶部中间固定有封装模具,所述机体的内部由左至右依次安装有胶液箱、循环泵和过滤箱,且机体内部位于胶液箱的前侧固定有抽料机,所述循环泵的两端通过管道分别与胶液箱和过滤箱相连接,所述机体的内部顶端安装有收集斗,且收集斗的底部与过滤箱的顶部之间通过管道连接,所述安装架的顶端安装有第一电动推杆,且第一电动推杆的伸缩端延伸至安装架的内部并连接有升降板,所述升降板的底端安装有第二电动推杆,且第二电动推杆的底端连接有压板,所述压板的底部套设有胶体盒,且胶体盒的底部向下延伸形成有凸台,所述凸台的内部开设有呈矩形阵列分布的通孔,所述抽料机的一端通过管道与胶液箱相连接,且抽料机的另一端通过伸缩式软管与胶体盒相连接,所述过滤箱的内部中间安装有过滤网,且过滤箱的内部位于过滤网的上方通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的外圆周上安装有六个呈环形阵列分布的叶板,所述机体的机门上安装有控制开关。
优选的,所述胶液箱的顶端安装有电机,且胶液箱的内部设置有与电机转动连接的活动轴,所述活动轴的外壁套接有两个大小不一的连接杆,且两个连接杆的两端均连接有转动架,两个所述转动架的一侧均粘接有与胶液箱内壁相接触的清刮板,所述胶液箱的底部一侧连接有延伸至机体外部的排废阀。
优选的,所述压板的底端插入胶体盒的内部并安装有限位板,且限位板可沿胶体盒的内部移动。
优选的,所述胶液箱的一侧通过管道连接有加料阀,且加料阀延伸至机体的外部。
优选的,所述升降板顶部的四个拐角处均连接有可伸缩的副连杆,且四个副连杆的顶端均与安装架的内部顶端相连接。
优选的,所述胶液箱的顶端还安装有机罩,且机罩罩设于电机的外部,所述机罩的外壁两侧均开设有呈矩形阵列分布的散热孔。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造