[实用新型]一种半导体封装制造设备有效

专利信息
申请号: 202022646483.6 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN213242505U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 张乔栋;袁泉;杨雪松;李锋;王浩源;张子运 申请(专利权)人: 江苏纳沛斯半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B01D29/01;B01D29/64
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 张成文
地址: 223001 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 封装 制造 设备
【说明书】:

本实用新型公开了一种半导体封装制造设备,涉及半导体封装技术领域,该半导体封装制造设备,包括机体,所述机体的顶端安装有安装架,且机体的顶部中间固定有封装模具,所述机体的内部由左至右依次安装有胶液箱、循环泵和过滤箱,且机体内部位于胶液箱的前侧固定有抽料机,所述循环泵的两端通过管道分别与胶液箱和过滤箱相连接,所述机体的内部顶端安装有收集斗,且收集斗的底部与过滤箱的顶部之间通过管道连接,本实用新型通过循环泵、收集斗、过滤箱和过滤网的设置,能够实现胶液的过滤,以便于胶液的回收,从而实现胶液的循环利用,有效的避免了胶液的浪费,有利用降低半导体的封装成本,可提高半导体生产的经济效益。

技术领域

本实用新型属于半导体封装技术领域,具体涉及一种半导体封装制造设备。

背景技术

半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成。而在半导体生产加工过程中,一般需要采用封装设备将半导体进行封装,以对半导体进行防护,便于半导体的使用。

专利号为201921768700.X的中国专利中,提到了一种半导体封装制造设备,通过设置的顶板、电动推杆、伸缩架和安装座,可以控制胶体盒的升降,提高了半导体封装制造设备的灵活性,通过设置转动杆、紧固螺母和压板,可以通过转动把手实现压板的升降,让胶体盒内胶体从圆孔内流出,进行加工,但是该封装制造设备不能将多余的胶液进行回收,导致胶液浪费,造成半导体封装成本的增加,另外,不能实现原料箱的清理,容易导致胶液在原料箱中凝固,不便于原料箱的后续使用,影响设备的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体封装制造设备,以解决上述背景技术中提出的不能将多余的胶液进行回收,导致胶液浪费,造成半导体封装成本的增加,另外不能实现原料箱的清理,容易导致胶液在原料箱中凝固,不便于原料箱的后续使用的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体封装制造设备,包括机体,所述机体的顶端安装有安装架,且机体的顶部中间固定有封装模具,所述机体的内部由左至右依次安装有胶液箱、循环泵和过滤箱,且机体内部位于胶液箱的前侧固定有抽料机,所述循环泵的两端通过管道分别与胶液箱和过滤箱相连接,所述机体的内部顶端安装有收集斗,且收集斗的底部与过滤箱的顶部之间通过管道连接,所述安装架的顶端安装有第一电动推杆,且第一电动推杆的伸缩端延伸至安装架的内部并连接有升降板,所述升降板的底端安装有第二电动推杆,且第二电动推杆的底端连接有压板,所述压板的底部套设有胶体盒,且胶体盒的底部向下延伸形成有凸台,所述凸台的内部开设有呈矩形阵列分布的通孔,所述抽料机的一端通过管道与胶液箱相连接,且抽料机的另一端通过伸缩式软管与胶体盒相连接,所述过滤箱的内部中间安装有过滤网,且过滤箱的内部位于过滤网的上方通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的外圆周上安装有六个呈环形阵列分布的叶板,所述机体的机门上安装有控制开关。

优选的,所述胶液箱的顶端安装有电机,且胶液箱的内部设置有与电机转动连接的活动轴,所述活动轴的外壁套接有两个大小不一的连接杆,且两个连接杆的两端均连接有转动架,两个所述转动架的一侧均粘接有与胶液箱内壁相接触的清刮板,所述胶液箱的底部一侧连接有延伸至机体外部的排废阀。

优选的,所述压板的底端插入胶体盒的内部并安装有限位板,且限位板可沿胶体盒的内部移动。

优选的,所述胶液箱的一侧通过管道连接有加料阀,且加料阀延伸至机体的外部。

优选的,所述升降板顶部的四个拐角处均连接有可伸缩的副连杆,且四个副连杆的顶端均与安装架的内部顶端相连接。

优选的,所述胶液箱的顶端还安装有机罩,且机罩罩设于电机的外部,所述机罩的外壁两侧均开设有呈矩形阵列分布的散热孔。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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