[实用新型]可吹动粉末的原子层沉积装置

权利要求书

1.一种可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数个粉末，其中该反应空间为一柱状体；

一轴封装置；

一驱动单元，通过该轴封装置连接该真空腔体，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；

至少一抽气管线，位于该轴封装置内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，由该轴封装置延伸至该反应空间内，并朝该反应空间下半部的一表面的方向延伸，位于该反应空间内的该进气管线被定义为一延伸管线，用以将一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。

2.根据权利要求1所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间包括两个底面及至少一侧面，该侧面连接该两个底面，而该进气管线朝该反应空间的该侧面的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线，由该轴封装置延伸至该反应空间内，并朝该反应空间的该侧面的方向延伸，用以将该非反应气体输送至该反应空间，以该非反应气体吹动该反应空间内的该粉末。

4.根据权利要求3所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该延伸管线位于该反应空间内，并朝该反应空间的该侧面的方向延伸。

5.根据权利要求4所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该延伸管线包括一出风口朝向该轴封装置的方向，并由该出风口输出该非反应气体以吹动该反应空间内的该粉末。

6.根据权利要求4所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体包括一腔体及一盖板，该盖板用以覆盖该腔体，并在两者之间形成该反应空间，而该延伸管线包括一出风口朝向该盖板的方向，并由该出风口输出该非反应气体以吹动该反应空间内的该粉末。

7.根据权利要求1所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线将一前驱物输送至该反应空间。

8.根据权利要求1所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该外管体用以容置该内管体，该内管体由该外管体延伸至该真空腔体的该反应空间，并在该反应空间内形成一凸出管部。

9.根据权利要求8所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该延伸管线穿过该凸出管部的该内管体，并朝该反应空间的该侧面的方向延伸。

10.根据权利要求4所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括一过滤单元位于该内管体连接该反应空间的一端，该抽气管线经由该过滤单元流体连接该反应空间，而该延伸管线穿过该过滤单元，并朝该反应空间的该侧面的方向延伸。