[实用新型]一种蚀刻机的精密补偿装置

权利要求书

1.一种蚀刻机的精密补偿装置，其特征在于：包括传送带(1)、固定框(14)、驱动机(6)以及铜厚检测仪(15)，所述传送带(1)的两端均转动安装有转辊(2)，且所述转辊(2)的两端均通过转轴(3)转动连接于安装架(4)，且所述安装架(4)固定连接于底座(5)上；

所述固定框(14)固定连接于底座(5)上，且所述固定框(14)内通过调节机构安装有喷嘴(20)，所述固定框(14)的顶端还固定安装有铜厚检测仪(15)，且所述铜厚检测仪(15)与控制模块(23)电性连接；

所述驱动机(6)固定连接于安装架(4)上，且所述驱动机(6)的输出轴与转盘(7)固定连接，所述转盘(7)的偏心处固定连接有圆柱销(8)，所述圆柱销(8)与第一连杆(9)转动连接，所述转轴(3)穿过安装架(4)与棘轮(11)同轴固定连接，所述棘轮(11)上转动安装有摆杆(12)，所述摆杆(12)上转动连接有棘爪(13)，且所述棘爪(13)与棘轮(11)配合使用，所述摆杆(12)上还转动连接有第二连杆(10)，且所述第二连杆(10)与第一连杆(9)转动连接；所述驱动机(6)与控制模块(23)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机的精密补偿装置，其特征在于：所述调节机构包括电机(17)、螺纹杆(16)、导向杆(18)以及螺母块(19)，所述螺纹杆(16)转动连接于固定框(14)内，且所述螺纹杆(16)的一端穿过固定框(14)后与电机(17)的输出轴固定连接，所述电机(17)固定连接于固定框(14)；所述螺母块(19)转动连接于螺纹杆(16)，所述导向杆(18)固定连接于固定框(14)内，所述导向杆(18)贯穿且滑动连接于螺母块(19)；所述螺母块(19)的底端均匀固定连接有若干个喷嘴(20)。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻机的精密补偿装置，其特征在于：所述传送带(1)本体上均匀固定连接有若干个限位板(21)，且相邻的限位板(21)之间放置有电路板(22)。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻机的精密补偿装置，其特征在于：所述固定框(14)为U形结构。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻机的精密补偿装置，其特征在于：所述驱动机(6)通过螺栓固定连接于安装架(4)上。