[实用新型]一种晶圆自动化涂源装置

权利要求书

1.一种晶圆自动化涂源装置，包括传送带和装有扩散源的喷雾装置；

其特征在于还包括，

喷雾室壳体，配置于该传送带上方；

支架，固定于该喷雾室壳体内壁；

锁定机构，与该喷雾装置连接；

该喷雾装置枢接于支架，该喷雾装置可绕其枢接中心转动，该锁定机构用于该喷雾装置与该支架之间的相对转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于还包括，

水帘装置，配置于该喷雾室壳体、用于向该喷雾室壳体侧壁喷水。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于还包括，

烘干装置，用于烘干涂源后的晶圆。

4.根据权利要求3所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于还包括，

烘干室壳体，配置于所述传送带上方；

所述烘干装置固定于该烘干室壳体内。

5.根据权利要求1所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于，

所述喷雾装置配置有与所述支架连接的螺杆；

所述锁定机构配置为锁定螺母，该锁定螺母螺纹连接于该螺杆。

6.根据权利要求2所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于，

所述水帘装置包括水帘喷嘴和水帘管架，

该水帘管架固定于所述喷雾室壳体顶部，该水帘管架靠近该喷雾室壳体侧壁设置，

该水帘喷嘴配置于该水帘管架。

7.根据权利要求1-6任一所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于还包括，

放片装置，配置于所述传送带的输入端；

收片装置，配置于所述传送带的输出端。

8.根据权利要求1-6任一所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于，

所述喷雾装置配置有喷雾喷嘴。

9.根据权利要求3所述的晶圆自动化涂源装置，其特征在于，

所述烘干装置配置为具有强制排风的红外线烘干器。