[实用新型]一种晶圆自动化涂源装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆自动化涂源装置，包括传送带和装有扩散源的喷雾装置；还包括，喷雾室壳体，配置于该传送带上方；支架，固定于该喷雾室壳体内壁；锁定机构，与该喷雾装置连接；该喷雾装置枢接于支架，该喷雾装置可绕其枢接中心转动，该锁定机构用于该喷雾装置与该支架之间的相对转动。本实用新型能够根据生产实际调整喷涂角度，以获得所需的涂覆效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体而言，涉及一种晶圆自动化涂源装置。

背景技术

在半导体行业，快恢复二极管通过向硅中掺杂铂/金元素降低少数载流子寿命，以满足电路对器件的开关频率需求。铂/金扩散源为液态扩散源，传统的使用方法是扩散前在晶圆表面涂覆扩散源，方法是将晶圆放置在旋转涂布机吸头上，开始旋转时用毛笔蘸取扩散源，从晶圆中心刷向边缘。

现有已公开的专利名称为“一种晶圆自动化涂源装置”、公开号为CN205984910U的中国实用新型专利，该专利设置用于传送晶圆的传送带，沿该传送带传送方向依次设置有喷雾装置和烘干器，该专利使用时通过气压将扩散源经喷雾装置喷出，晶圆由传送皮带承载快速通过喷雾装置下方和烘干器，即可获得涂层均匀性较高的晶圆，大大提高了涂源效率。而且自动化涂源替代人工作业,涂源均匀，一致性好，扩散后器件的逆向恢复时间(TRR)差异小,大幅度提高了铂/金扩散品质。

但是，上述专利无法根据生产实际调整喷涂角度，以获得所需的涂覆效果。

实用新型内容

本实用新型的目的包括提供一种晶圆自动化涂源装置，其针对晶圆自动化涂源装置而设计，能够根据生产实际调整喷涂角度，以获得所需的涂覆效果。

本实用新型的实施例通过以下技术方案实现：

一种晶圆自动化涂源装置，包括传送带和装有扩散源的喷雾装置；还包括，喷雾室壳体，配置于该传送带上方；支架，固定于该喷雾室壳体内壁；锁定机构，与该喷雾装置连接；该喷雾装置枢接于支架，该喷雾装置可绕其枢接中心转动，该锁定机构用于该喷雾装置与该支架之间的相对转动。

在本实用新型的一实施例中，还包括，水帘装置，配置于该喷雾室壳体、用于向该喷雾室壳体侧壁喷水。

在本实用新型的一实施例中，还包括，烘干装置，用于烘干涂源后的晶圆。

在本实用新型的一实施例中，烘干室壳体，配置于所述传送带上方；所述烘干装置固定于该烘干室壳体内。

在本实用新型的一实施例中，所述喷雾装置配置有与所述支架连接的螺杆；所述锁定机构配置为锁定螺母，该锁定螺母螺纹连接于该螺杆。

在本实用新型的一实施例中，所述水帘装置包括水帘喷嘴和水帘管架，该水帘管架固定于所述喷雾室壳体顶部，该水帘管架靠近该喷雾室壳体侧壁设置，该水帘喷嘴配置于该水帘管架。

在本实用新型的一实施例中，还包括，放片装置，配置于所述传送带的输入端；收片装置，配置于所述传送带的输出端。

在本实用新型的一实施例中，所述喷雾装置配置有喷雾喷嘴。

在本实用新型的一实施例中，所述烘干装置配置为具有强制排风的红外线烘干器。

本实用新型实施例的技术方案至少具有如下优点和有益效果：

本实用新型实施例通过设置喷雾室壳体，在喷雾室壳体内设置支架，在喷雾装置上设置螺杆，利用螺杆实现与支架的枢接，并利用锁定螺母实现喷雾装置的锁定，在实际生产时，可根据晶圆表面涂层的涂覆效果调整喷雾装置的喷涂角度，以获得所需的涂覆效果。

附图说明