[实用新型]用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置

权利要求书

1.一种用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，包括工作台(1)、控制器(2)、支撑杆(3)、上基板(4)、球壳(5)、抽真空组件(6)、旋转机构(7)、拉伸机构(8)和蒸发机构(9)；

所述控制器(2)固定设置于工作台(1)的顶部一角，四个所述支撑杆(3)两两对称固定设置于工作台(1)顶部，所述上基板(4)固定设置于四个支撑杆(3)的顶部，所述球壳(5)位于上基板(4)的顶部，所述抽真空组件(6)设置于工作台(1)和上基板(4)之间；

所述拉伸机构(8)和蒸发机构(9)均位于球壳(5)内部；

所述拉伸机构(8)包括转盘(80)、一对伸缩组件(81)和复数组扩张组件(82)；

所述旋转机构(7)包括步进电机(70)和连动装置(71)；

所述蒸发机构(9)包括第一蒸发电极(90)、第二蒸发电极(91)和复数组蒸发组件(92);

所述复数组蒸发组件(92)设置于复数组扩张组件(82)顶部，且复数组蒸发组件(92)与复数组扩张组件(82)一一对应。

2.根据权利要求1所述的用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，所述抽真空组件(6)包括排气管(60)和抽气泵(61)，所述上基板(4)顶部设有贯通的排气孔(40)，呈L形所述排气管(60)一端固定插设于排气孔(40)内，所述抽气泵(61)固定设置于工作台(1)上，所述排气管(60)的另一端固定插设于抽气泵(61)的进气口。

3.根据权利要求2所述的用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，所述上基板(4)的排气孔(40)旁侧还设有矩形孔(41)，所述矩形孔(41)内固定设有信号盒(42)，所述信号盒(42)内固定设有真空压力传感器(44)。

4.根据权利要求3所述的用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，所述工作台(1)顶部固定设有机架(10)，所述步进电机(70)呈正立状固定设置于机架(10)上。

5.根据权利要求3所述的用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，所述连动装置(71)包括中转块(710)、连动轴(711)和两组滑动组件(712)；

所述中转块(710)设置于上基板(4)的顶端中部，所述连动轴(711)的一端固定设置于中转块(710)顶部，两组所述滑动组件(712)对称设置于中转块(710)的两侧，每组所述滑动组件(712)包括滑杆(7120)、旋转座(7121)和滑柱(7122)，所述滑杆(7120)的一端与中转块(710)固定连接，所述滑杆(7120)的另一端与旋转座(7121)固定连接，所述滑柱(7122)固定设置于旋转座(7121)的底部，所述上基板(4)的顶部外围设有环形槽(43)，所述滑柱(7122)通过环形槽(43)与上基板(4)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，所述转盘(80)固定设置于连动轴(711)的顶部，复数组扩张组件(82)对称均匀设置于转盘(80)的外缘，其中：

每组所述扩张组件(82)包括旋转杆(820)、扩压块(821)和拉伸弹簧(822)，所述旋转杆(820)的一端与转盘(80)外缘铰接，且旋转杆(820)的下半端一侧设有凸形槽(8200)，所述扩压块(821)底部固定设有滑动块(8210)，所述滑动块(8210)通过凸形槽(8200)与旋转杆(820)滑动连接，所述拉伸弹簧(822)的一端与对应扩压快的一侧焊接，所述拉伸弹簧(822)的另一端与相邻的扩压组件中的扩压快焊接。