[实用新型]用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置

说明书

本实用新型涉及光电倍增管技术领域，具体公开一种用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，包括工作台、控制器、支撑杆、上基板、球壳、抽真空组件、旋转机构、拉伸机构和蒸发机构，所述控制器固定设置于工作台的顶部一角，所述上基板固定设置于四个支撑杆的顶部，所述球壳位于上基板的顶部，所述拉伸机构包括转盘、一对伸缩组件和复数组扩张组件，所述旋转机构包括步进电机和连动装置，所述蒸发机构包括第一蒸发电极、第二蒸发电极和复数组蒸发组件，本实用新型通过将光电倍增管阴极球壳插设于上基板上并操纵控制器，对球壳进行均匀镀膜，操作方便，快捷高效，提高对大面积光电倍增管的阴极球壳均匀镀膜的效率。

技术领域

本实用新型涉及光电倍增管技术领域，具体涉及一种用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置。

背景技术

光电蒸发镀膜常称真空镀膜，是指在真空条件下，材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜，再经高温热处理后，在玻璃表面形成附着力的膜层，尤其是多层叠加的复合膜层或者功能膜层。

真空镀膜以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并结合电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的过程。

真空镀膜是光电倍增管阴极制备的关键工序，以在玻璃球壳的内表面(尤其是上半部分)形成均匀的一层或者多层功能膜层，提高光电子的转化能力和效率，实现对光信号的探测和光电转换。膜层的质量，是影响探测效率的关键因素。传统的方法是设置可旋转的蒸发源或是增添矫正板进而达到均匀镀膜的效果，但因光电倍增管阴极的球壳面积较大，尤其是还会面对大尺寸的椭球形或者圆角方形玻璃球壳，达到预期的均匀镀膜效果难度较大。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题或者不足，本实用新型的第一方面提出一种用于光电阴极制备的大面积均匀镀膜装置，包括工作台，还包括控制器、支撑杆、上基板、球壳、抽真空组件、旋转机构、拉伸机构和蒸发机构，所述控制器固定设置于工作台的顶部一角，所述四个支撑杆两两对称固定设置于工作台顶部，所述上基板固定设置于四个支撑杆的顶部，所述球壳位于上基板的顶部，所述抽真空组件设置于工作台和上基板之间，所述拉伸机构和蒸发机构均位于球壳内部，所述拉伸机构包括转盘、一对伸缩组件和复数组扩张组件，所述旋转机构包括步进电机和连动装置，所述蒸发机构包括第一蒸发电极、第二蒸发电极和复数组蒸发组件，所述复数组蒸发组件设置于复数组扩张组件顶部，且复数组蒸发组件与复数组扩张组件一一对应。

优选的，所述抽真空组件包括排气管和抽气泵，所述上基板顶部设有贯通的排气孔，所述呈L形的排气管一端固定插设于排气孔内，所述抽气泵固定设置于工作台上，所述排气管的另一端固定插设于抽气泵的进气口。

优选的，所述上基板的排气孔旁侧还设有矩形孔，所述矩形孔内固定设有信号盒，所述信号盒内固定设有真空压力传感器。

优选的，所述工作台顶部固定设有机架，所述步进电机呈正立状固定设置于机架上，所述连动装置包括中转块、连动轴和两组滑动组件，所述中转块设置于上基板的顶端中部，所述连动轴的一端固定设置于中转块顶部，所述两组滑动组件对称设置于中转块的两侧，所述每组滑动组件包括滑杆、旋转座和滑柱，所述滑杆的一端与中转块固定连接，所述滑杆的另一端与旋转座固定连接，所述滑柱固定设置于旋转座的底部，所述上基板的顶部外围设有环形槽，所述滑柱通过环形槽与上基板滑动连接。

优选的，所述转盘固定设置于连动轴的顶部，所述复数组扩张组件对称均匀设置于转盘的外缘，所述每组扩张组件包括旋转杆、扩压块和拉伸弹簧，所述旋转杆的一端与转盘外缘铰接，且旋转杆的下半端一侧设有凸形槽，所述扩压块底部固定设有滑动块，所述滑动块通过凸形槽与旋转杆滑动连接，所述拉伸弹簧的一端与对应扩压快的一侧焊接，所述拉伸弹簧的另一端与相邻的扩压组件中的扩压快焊接。