[实用新型]一种气体分流模块化装置

权利要求书

1.一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和VCR接头，所述主管进气系统通过VCR接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过VCR接头相连接。

2.如权利要求1所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括主管波纹管阀和第一压力表，气体通过所述主管波纹管阀进入主管进气系统。

3.如权利要求2所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括主管进气阀门，所述主管进气阀门与第一压力表相连接。

4.如权利要求1所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述支路出气系统包括支路进气阀门，气体通过所述支路进气阀门进入支路出气系统。

5.如权利要求3所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述主管进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

6.如权利要求4所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述支路出气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述支路进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

7.如权利要求5所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

8.如权利要求6所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述支路出气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

9.如权利要求1所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述VCR接头包括金属垫片。

10.如权利要求9所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述金属垫片为无爪型。