[实用新型]一种气体分流模块化装置

说明书

本实用新型公开了一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和VCR接头，所述主管进气系统通过VCR接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过VCR接头相连接。本实用新型提供的有益效果在于原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用，解决了使用气体分流盘VMP现场改造洁净控制的问题。

技术领域

本实用新型属于气体装置技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种气体分流模块化装置。

背景技术

气体分流盘VMP应用于半导体和电子工业、医疗、基因技术、生物制药和科研等领域，主要用于大宗、普通等惰性气体的终端控制，气体分流盘VMP是将气体分成若干支路并供应到各个用气点的设备，当多台工艺设备均使用某一种大宗气体时，行业内使用气体分流盘VMP将集中供气气源通过多条支路上的阀门等装置分流到各个工艺设备供其使用大宗气体，一般安装在工艺设备附近，是一个开放式盘面，可以直观的看到阀门管件的状态，使用VMP系统，Hook-up管路将会变短，可减少气柜的数量，因此可大大减少投资和维护成本。

现有的气体分流盘VMP几个支路为主管连接的各支路间为焊接式，生产过程中，盘面的支路数量不同，造成生产的效率较低。现有的气体分流盘VMP存在以下不足：1.盘面主管支路固定，现场其他支路数量有变更时，支路不能快速变动；2.难于模块化生产，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体分流模块化装置，以解决现有技术中存在的支路数量有变更时不能快速变动的技术问题。

为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和VCR接头，所述主管进气系统通过VCR接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过VCR接头相连接。

优选地，所述主管进气系统包括主管波纹管阀和第一压力表，气体通过所述主管波纹管阀进入主管进气系统。

优选地，所述主管进气系统包括主管进气阀门，所述主管进气阀门与第一压力表相连接。

优选地，所述支路出气系统包括支路进气阀门，气体通过所述支路进气阀门进入支路出气系统。

优选地，所述主管进气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述主管进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

优选地，所述支路出气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述支路进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

优选地，所述主管进气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

优选地，所述支路出气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

优选地，所述VCR接头包括金属垫片。

优选地，所述金属垫片为无爪型。

本实用新型提供的有益效果在于：

1、通过VCR接头来实现各系统的灵活连接，在原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用。

2、解决了使用气体分流盘VMP现场改造洁净控制的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例采用的一种气体分流模块化装置示意图。