[实用新型]一种全自动晶圆扫码装袋机有效

专利信息
申请号: 202022662280.6 申请日: 2020-11-17
公开(公告)号: CN213568325U 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 卢传播 申请(专利权)人: 厦门市弘瀚电子科技有限公司
主分类号: B65G47/80 分类号: B65G47/80;B65G47/90;B65G47/49;B65B43/16;B65B5/04
代理公司: 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 代理人: 唐绍烈
地址: 361000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 全自动 晶圆扫码 装袋
【权利要求书】:

1.一种全自动晶圆扫码装袋机,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)上设置上料模组(2)、加工转盘(3)、扫码器(4)、下料模组(5)和装袋模组(6);

所述加工转盘(3)设置在机架(1)中部,所述上料模组(2)设置在加工转盘(3)右侧,所述下料模组(5)设置在加工转盘(3)左侧,所述扫码器(4)设置在加工转盘(3)前侧,扫码器(4)上部延伸至加工转盘(3)前部,装袋模组(6)设置在加工转盘(3)后侧。

2.如权利要求1所述一种全自动晶圆扫码装袋机,其特征在于:所述上料模组(2)包括上料机械手(21)、上料料盒(22)和上料盒滑架(23),所述上料盒滑架(23)设置在加工转盘(3)的右侧,多个上料料盒(22)呈矩阵排布在上料盒滑架(23)内,所述上料机械手(21)架设在上料盒滑架(23)与加工转盘(3)之间,所述上料机械手(21)的上部从上料盒滑架(23)侧部延伸至加工转盘(3)右部。

3.如权利要求1所述一种全自动晶圆扫码装袋机,其特征在于:所述下料模组(5)包括下料机械手(51)、下料料盒(52)和下料盒滑架(53),述下料盒滑架(53)设置在加工转盘(3)的左侧,多个下料料盒(52)呈矩阵排布在下料盒滑架(53)内,所述下料机械手(51)架设在下料盒滑架(53)与加工转盘(3)之间,所述下料机械手(51)的上部从下料盒滑架(53)侧部延伸至加工转盘(3)左部。

4.如权利要求1所述一种全自动晶圆扫码装袋机,其特征在于:所述装袋模组(6)包括移料机械手(60)、装袋器(61)、装袋导轨(62)、装袋机械手(63)、晶圆袋料架(64)、收料机械手(65)和装袋料盒(66),所述装袋导轨(62)和装袋料盒(66)设置在加工转盘(3)后侧,所述装袋机械手(63)滑动设置在装袋导轨(62)上,装袋导轨(62)右部前侧还设有晶圆袋料架(64),所述装袋器(61)设置在加工转盘(3)后侧边缘处,装袋器(61)位于装袋导轨(62)和加工转盘(3)之间,移料机械手(60)设置在装袋器(61)侧边,所述收料机械手(65)设置在装袋导轨(62)和装袋料盒(66)之间。

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