[实用新型]晶舟结构

权利要求书

1.一种晶舟结构，适用于承载至少一晶圆(50)，其特征在于，包括：

一无压烧结碳化硅底座(10)；

一无压烧结碳化硅支撑装置(20)，具有复数个支撑部(21)，其间隔连接于该无压烧结碳化硅底座(10)，且该些支撑部(21)与该无压烧结碳化硅底座(10)之间具有一容置空间(40)，以供容置该晶圆(50)；以及

复数个无压烧结碳化硅凸肋(30)，其间隔设置于每一该支撑部(21)上，位于每一该支撑部(21)上的该些无压烧结碳化硅凸肋(30)的位置彼此水平对应设置，使该晶圆(50)的周缘嵌合于相邻的该无压烧结碳化硅凸肋(30)之间。

2.如权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，该无压烧结碳化硅底座(10)、该无压烧结碳化硅支撑装置(20)与该些无压烧结碳化硅凸肋(30)一体成型。

3.如权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，相邻的该无压烧结碳化硅凸肋(30)之间具有一嵌合部(31)。

4.如权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，该无压烧结碳化硅底座(10)具有一上底座(11)与一下底座(12)，该上底座(11)与该下底座(12)为相对应设置，该些支撑部(21)垂直间隔环绕连接于该上底座(11)与该下底座(12)之间，以形成一立式晶舟结构，使该上底座(11)、该下底座(12)与该些支撑部(21)之间具有该容置空间(40)。

5.如权利要求4所述的晶舟结构，其特征在于，相对位置的该些支撑部(21)上设置有至少一固定部(60)。

6.如权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，该无压烧结碳化硅底座(10)包括一弧面形成本体(13)以及间隔连接于该弧面形成本体(13)下方位置的复数个定位件(131)，该弧面形成本体(13)具有一弧面基准部(132)，该弧面基准部(132)的侧面呈弧形状，该些支撑部(21)沿着该弧面基准部(132)水平间隔设置，以形成一卧式晶舟结构(200)，该些支撑部(21)位于该弧面形成本体(13)上方位置，且每一该支撑部(21)位置相对应该每一该定位件(131)，使该弧面形成本体(13)与该些支撑部(21)之间具有该容置空间(40)。

7.如权利要求6所述的晶舟结构，其特征在于，该弧面形成本体(13)、该些定位件(131)与该些支撑部(21)为一体成型。

8.如权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，该无压烧结碳化硅底座(10)具有两对称的侧座(14)，该侧座(14)由一平面部(141)及自该平面部(141)的两侧向上延伸的一倾斜部(142)所构成，该侧座(14)具有贯穿上、下表面的复数个第一对接部(143)，该些支撑部(21)水平间隔连接于两该侧座(14)之间，以形成一卧式晶舟结构(200)，每一该支撑部(21)的两端具有一第二对接部(211)，该些第一对接部(143)的位置分别对应连接于每一该第二对接部(211)的位置。

9.如权利要求8所述的晶舟结构，其特征在于，该第一对接部(143)与该第二对接部(211)为相匹配的枢接孔，利用一枢接件(70)枢接于该枢接孔中，使两该侧座(14)与该些支撑部(21)形成连接固定。

10.如权利要求9所述的晶舟结构，其特征在于，该枢接件(70)为无压烧结碳化硅制成的螺丝、螺栓或插销，该枢接件(70)与该枢接孔为相配合连接组件。