[实用新型]一种真空镀膜用均匀加热装置

权利要求书

1.一种真空镀膜用均匀加热装置，包括加热板(1)，其特征在于,所述加热板(1)的两端均固定连接有侧板(2)，两个所述侧板(2)上均固定连接有第二轴承(12)，其中一个所述第二轴承(12)内轴面固定连接有第一转轴(6)，另一个所述第二轴承(12)的内轴面固定连接有第二转轴(7)，所述第一转轴(6)一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板(8)，所述第二转轴(7)上固定连接有第二固定板(13)，所述第二固定板(13)上固定连接有第一轴承(11)，所述第一轴承(11)的内轴面固定连接有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)螺纹贯穿所述第一固定板(8)，所述第一转轴(6)另一端传动连接有电机(5)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置，其特征在于，所述伸缩机构包括与所述第一转轴(6)上固定连接的连接棱(4)，所述连接棱(4)外侧套设有连接框(3)，所述连接框(3)与所述第一固定板(8)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置，其特征在于，所述螺纹杆(9)上固定连接有转动盘(10)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置，其特征在于，所述电机(5)为低速电机。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置，其特征在于，所述第一转轴(6)为隔热材料制成。