[实用新型]一种真空镀膜用均匀加热装置有效

专利信息
申请号: 202022665707.8 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213624360U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 王孟良;吴彦奇;陈春奇;陈卓;梅洪蕾;梅艳红 申请(专利权)人: 深圳天成真空技术有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/54;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52
代理公司: 深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733 代理人: 李夏宏
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 均匀 加热 装置
【说明书】:

实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板,所述加热板的两端均固定连接有侧板,两个所述侧板上均固定连接有第二轴承,其中一个所述第二轴承内轴面固定连接有第一转轴,另一个所述第二轴承的内轴面固定连接有第二转轴,所述第一转轴一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板,所述第二转轴上固定连接有第二固定板,所述第二固定板上固定连接有第一轴承,所述第一轴承的内轴面固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆螺纹贯穿所述第一固定板,所述第一转轴另一端传动连接有电机。本实用新型具有保证工件均匀受热的特点。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种真空镀膜用均匀加热装置。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。现有的真空镀膜加热装置,在对工件进行加热时,无法对工件在加热时进行转动,导致工件离热量源近的部分温度高,离热量源低的部分,温度低,导致工件受热不均匀的情况,容易影响镀膜的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的工件受热不均匀的情况,容易影响镀膜质量的缺点,而提出的一种真空镀膜用均匀加热装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

设计一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板,所述加热板的两端均固定连接有侧板,两个所述侧板上均固定连接有第二轴承,其中一个所述第二轴承内轴面固定连接有第一转轴,另一个所述第二轴承的内轴面固定连接有第二转轴,所述第一转轴一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板,所述第二转轴上固定连接有第二固定板,第二固定板上固定连接有第一轴承,所述第一轴承的内轴面固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆螺纹贯穿所述第一固定板,所述第一转轴另一端传动连接有电机。

优选的,所述伸缩机构包括与所述第一转轴上固定连接的连接棱,所述连接棱外侧套设有连接框,所述连接框与所述第一固定板固定连接。

优选的,所述螺纹杆上固定连接有转动盘。

优选的,所述电机为低速电机。

优选的,所述第一转轴为隔热材料制成

本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置,有益效果在于:通过采用第一固定板、第二固定板、螺纹杆、转轴伸缩机构的设计,以便对不同尺寸的工件进行夹紧,从而将带动工件进行转动,保证了工件的受热均匀。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置的立体图一;

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置的立体图二;

图3为本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置的正视图。

图中:加热板1、侧板2、连接框3、连接棱4、电机5、第一转轴6、第二转轴7、第一固定板8、螺纹杆9、转动盘10、第一轴承11、第二轴承12、第二固定板13。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-3,一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板1,加热板1的两端均固定连接有侧板2,通过将加热板1固定安装在真空镀膜装置内。

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