[实用新型]一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统

权利要求书

1.一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。

2.根据权利要求1所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，任一所述气源装置连接第一电磁阀和第一质量流量计，所述稀释气体储存装置设有第二电磁阀和第二质量流量计，所述第一质量流量计连接所述第一混合室，所述第二质量流量计与所述多级气体混合装置的任一混合室分别连接；所述第一质量流量计与所述第二质量流量计之间设有连接管，所述连接管设有连接阀。

3.根据权利要求1或2所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述第一混合室与所述第二混合室之间连接第三质量流量计，所述第二混合室和所述第三混合室之间连接第四质量流量计。

4.根据权利要求3所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述检验装置包括检验室和设于所述检验室、用以检测对应气体浓度的气敏传感器；所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室均与所述检验室通过气管及检验阀连接。

5.根据权利要求4所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述气源装置、所述稀释气体储存装置、所述多级气体混合装置、所述检验装置、所述清扫装置均通过主壳体固定且均设于所述主壳体的内部。

6.根据权利要求5所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述主壳体的外侧设置显示部，所述主壳体的内侧设有与所述显示部连接的电路板，所述电路板用以采集处理所述气敏传感器检测的气体浓度信息并传递至所述显示部显示。

7.根据权利要求1所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述清扫装置为与所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室和所述检验装置连接的抽气泵，所述抽气泵的抽气口之前设置抽气阀。

8.根据权利要求6所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述主壳体内还设有多个用以检测混合气体温度的温度传感器，全部所述温度传感器与所述电路板连接并通过所述显示部显示检测温度。