[实用新型]一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统

说明书

本实用新型公开了一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。本实用新型通过多级配气和浓度检测，能够满足不同浓度，尤其是低浓度气体的配制需求，配气浓度范围广，同时提高了气体配制浓度的准确度。

技术领域

本实用新型涉及气体浓度配比领域，特别涉及一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统。

背景技术

随着科技的发展，在气敏材料研究、气体的配制方面需要配制一定浓度的气体，由于需要的不同气体的不同浓度，或是需要较低浓度的气体，市售的一般为纯的单气体或是固定高浓度的气体，不能满足实验或是配气的需要，目前来说配气常用的方法是通过采用两个不同流速范围的质量流量计进行混合气体，通过选择需要的配制的气体和稀释气体，再通过电磁阀和质量流量计进行控制流量和流速，对需要配制的气体进行混合得到需要浓度的气体，这种配制方法配气的浓度准确度不高，且能配气的浓度范围较小，不能满足实验和配气的需求，同时在配气时，无法对该设备进行校准和清洁，进一步降低了配气浓度的准确度。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型提供一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，能够满足不同浓度，尤其是低浓度气体的配制需求，配气浓度范围广，同时提高了气体配制浓度的准确度。

一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。

可选地，任一所述气源装置连接第一电磁阀和第一质量流量计，所述稀释气体储存装置设有第二电磁阀和第二质量流量计，所述第一质量流量计连接所述第一混合室，所述第二质量流量计与所述多级气体混合装置的任一混合室分别连接；所述第一质量流量计与所述第二质量流量计之间设有连接管，所述连接管设有连接阀。

可选地，所述第一混合室与所述第二混合室之间连接第三质量流量计，所述第二混合室和所述第三混合室之间连接第四质量流量计。

可选地，所述检验装置包括检验室和设于所述检验室、用以检测对应气体浓度的气敏传感器；所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室均与所述检验室通过气管及检验阀连接。

可选地，所述气源装置、所述稀释气体储存装置、所述多级气体混合装置、所述检验装置、所述清扫装置均通过主壳体固定且均设于所述主壳体的内部。

可选地，所述主壳体的外侧设置显示部，所述主壳体的内侧设有与所述显示部连接的电路板，所述电路板用以采集处理所述气敏传感器检测的气体浓度信息并传递至所述显示部显示。

可选地，所述清扫装置为与所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室和所述检验装置连接的抽气泵，所述抽气泵的抽气口之前设置抽气阀。

可选地，所述主壳体内还设有多个用以检测混合气体温度的温度传感器，全部所述温度传感器与所述电路板连接并通过所述显示部显示检测温度。

与现有技术相比，本实用新型达到的有益效果如下：

(1)本实用新型采用多级气体混合装置对待配制的高浓度气体进行分级稀释配制，使得扩大了可以配气的浓度范围，能够满足不同浓度配气的需求。