[实用新型]一种扩散源瓶及扩散系统有效
申请号: | 202022673046.3 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN213340403U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 王文健;姜大俊;潘励刚;郑旭然 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;F16L55/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 系统 | ||
1.一种扩散源瓶,其特征在于,包括:
瓶体(1),所述瓶体(1)顶部设有连通其内外的出气通道(2),所述出气通道(2)呈锥形且竖直设置,所述出气通道(2)的直径由上至下逐渐增大;
进气管(3),所述进气管(3)的一端置于所述瓶体(1)外部,另一端伸入所述瓶体(1)内并靠近所述瓶体(1)底部;
出气管(4),所述出气管(4)的一端与所述出气通道(2)的末端连通。
2.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气管(4)沿竖直方向延伸,所述出气管(4)外包裹有保温层。
3.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气管(4)上设有第一开关阀(41),所述进气管(3)上设有第二开关阀(31)。
4.根据权利要求3所述的扩散源瓶,其特征在于,所述进气管(3)上还设有单向阀,所述单向阀与所述第二开关阀(31)间隔设置。
5.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述扩散源瓶还包括设置于所述瓶体(1)底部的进液管(5)和出液管(6),所述进液管(5)和所述出液管(6)均与所述瓶体(1)连通。
6.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述瓶体(1)的材质为玻璃,所述瓶体(1)上设置有刻度线。
7.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气通道(2)与所述瓶体(1)为一体式结构。
8.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气通道(2)的顶端连接有直管段,所述直管段的外周设置有外螺纹,所述出气管(4)的端部设置有内螺纹,所述直管段与所述出气管(4)端部的外周螺接。
9.一种扩散系统,其特征在于,包括恒温柜(7)及如权利要求1-8任一项所述的扩散源瓶,所述扩散源瓶设置于所述恒温柜(7)内,所述进气管(3)和所述出气管(4)能穿出所述恒温柜(7)。
10.根据权利要求9所述的扩散系统,其特征在于,所述恒温柜(7)内设有多个所述扩散源瓶和多个支架,多个所述扩散源瓶一一对应固定在多个所述支架上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的