[实用新型]一种扩散源瓶及扩散系统有效

专利信息
申请号: 202022673046.3 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213340403U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 王文健;姜大俊;潘励刚;郑旭然 申请(专利权)人: 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;F16L55/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 224000 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 系统
【权利要求书】:

1.一种扩散源瓶,其特征在于,包括:

瓶体(1),所述瓶体(1)顶部设有连通其内外的出气通道(2),所述出气通道(2)呈锥形且竖直设置,所述出气通道(2)的直径由上至下逐渐增大;

进气管(3),所述进气管(3)的一端置于所述瓶体(1)外部,另一端伸入所述瓶体(1)内并靠近所述瓶体(1)底部;

出气管(4),所述出气管(4)的一端与所述出气通道(2)的末端连通。

2.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气管(4)沿竖直方向延伸,所述出气管(4)外包裹有保温层。

3.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气管(4)上设有第一开关阀(41),所述进气管(3)上设有第二开关阀(31)。

4.根据权利要求3所述的扩散源瓶,其特征在于,所述进气管(3)上还设有单向阀,所述单向阀与所述第二开关阀(31)间隔设置。

5.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述扩散源瓶还包括设置于所述瓶体(1)底部的进液管(5)和出液管(6),所述进液管(5)和所述出液管(6)均与所述瓶体(1)连通。

6.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述瓶体(1)的材质为玻璃,所述瓶体(1)上设置有刻度线。

7.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气通道(2)与所述瓶体(1)为一体式结构。

8.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气通道(2)的顶端连接有直管段,所述直管段的外周设置有外螺纹,所述出气管(4)的端部设置有内螺纹,所述直管段与所述出气管(4)端部的外周螺接。

9.一种扩散系统,其特征在于,包括恒温柜(7)及如权利要求1-8任一项所述的扩散源瓶,所述扩散源瓶设置于所述恒温柜(7)内,所述进气管(3)和所述出气管(4)能穿出所述恒温柜(7)。

10.根据权利要求9所述的扩散系统,其特征在于,所述恒温柜(7)内设有多个所述扩散源瓶和多个支架,多个所述扩散源瓶一一对应固定在多个所述支架上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司,未经盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022673046.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top