[实用新型]一种扩散源瓶及扩散系统

说明书

本实用新型涉及光伏电池制造技术领域，公开了一种扩散源瓶及扩散系统。该扩散源瓶包括瓶体、进气管和出气管。瓶体顶部设有连通其内外的出气通道，出气通道呈锥形且竖直设置，出气通道的直径由上至下逐渐增大。进气管的一端置于瓶体外部，另一端伸入瓶体内并靠近瓶体底部。出气管的一端与出气通道的末端连通。本实用新型提高了产品的合格率，又提高了安全性。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池制造技术领域，尤其涉及一种扩散源瓶及扩散系统。

背景技术

目前，太阳能电池的生产制造过程中，磷源的扩散是极其重要的一个步骤，是实现光伏发电的关键步骤，目前行业内普遍采用的是气体携带液态磷源扩散的方法，具体地，将三氯氧磷装入扩散源瓶内，扩散源瓶上设有进气管与出气管，通过进气管向扩散源瓶的三氯氧磷内充入氮气，由气体携带三氯氧磷通过出气管通向扩散炉管内。为了保证扩散效果，扩散源瓶置于低于室温的恒温柜内。现有技术中，出气管呈直角弯管状，且其中一个直管段伸至恒温柜内与扩散源瓶连通，另一个直管段与恒温柜外的扩散炉管连通，在恒温柜外的直管段上一般包裹有保温层，保证三氯氧磷处于低温状态，但出气管两个直管段之间的折角处暴露在室温下，使得伸出恒温柜的出气管内部的气体温度高于恒温柜的温度。当不向源瓶内通入氮气时，源瓶处于负压状态，存留在出气管内的气体回流入恒温柜内，由于恒温柜的温度低，导致三氯氧磷液化在出气管内形成液柱，流向扩散源瓶。当液柱两端的气压平衡时，液柱堵在出气管的进气端。后续恢复通气后，液柱阻挡通过出气管的通气量，也增加了液柱直接进入扩散炉管的风险，降低了产品的合格率；而且这种方法只能通过操作人员拆开扩散源瓶将液柱导出，安全性较差。

基于此，亟需一种扩散源瓶及扩散系统用来解决如上提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散源瓶及扩散系统，提高了产品的合格率，又提高了安全性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种扩散源瓶，包括：

瓶体，所述瓶体顶部设有连通其内外的出气通道，所述出气通道呈锥形且竖直设置，所述出气通道的直径由上至下逐渐增大；

进气管，所述进气管的一端置于所述瓶体外部，另一端伸入所述瓶体内并靠近所述瓶体底部；

出气管，所述出气管的一端与所述出气通道的末端连通。

优选地，所述出气管沿竖直方向延伸，所述出气管外包裹有保温层。

优选地，所述出气管上设有第一开关阀，所述进气管上设有第二开关阀。

优选地，所述进气管上还设有单向阀，所述单向阀与所述第二开关阀间隔设置。

优选地，所述扩散源瓶还包括设置于所述瓶体底部的进液管和出液管，所述进液管和所述出液管均与所述瓶体连通。

优选地，所述瓶体的材质为玻璃，所述瓶体上设置有刻度线。

优选地，所述出气通道与所述瓶体为一体式结构。

优选地，所述出气通道的顶端连接有直管段，所述直管段的外周设置有外螺纹，所述出气管的端部设置有内螺纹，所述直管段与所述出气管端部的外周螺接。

一种扩散系统，包括恒温柜及如上所述的扩散源瓶，所述扩散源瓶设置于所述恒温柜内，所述进气管和所述出气管能穿出所述恒温柜。

优选地，所述恒温柜内设有多个所述扩散源瓶和多个支架，多个所述扩散源瓶一一对应固定在多个所述支架上。