[实用新型]微机电系统换能器和麦克风组件

权利要求书

1.一种微机电系统换能器，所述微机电系统换能器用于集成在麦克风组件中，其特征在于，所述麦克风组件具有壳体，所述微机电系统换能器设置在所述壳体中，所述微机电系统换能器包括：

基板，所述基板包括孔；

电声换能部件，所述电声换能部件至少部分地位于所述孔上方，并且联接至所述基板；

电触点，所述电触点联接至所述微机电系统换能器；以及

电阻器，所述电阻器联接至与所述微机电系统换能器的电触点电隔离的电触点。

2.根据权利要求1所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述电声换能部件包括联接至所述基板的绝缘材料，所述电阻器形成在所述绝缘材料上。

3.根据权利要求2所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述基板具有安装表面以及与所述安装表面相反的表面，形成有所述电阻器的所述绝缘材料联接至所述基板的与所述安装表面相反的所述表面。

4.根据权利要求3所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述电阻器相对于所述基板的所述孔横向偏移。

5.根据权利要求4所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述电声换能部件是可变电容器，所述可变电容器包括至少部分地位于所述基板的所述孔上方的固定电极和可移动电极，所述固定电极和所述可移动电极中的至少一者形成在所述绝缘材料上。

6.根据权利要求5所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述可移动电极位于所述基板与所述固定电极之间。

7.根据权利要求1所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述电声换能部件包括联接至所述基板的绝缘材料，所述电阻器从所述绝缘材料悬置。

8.根据权利要求7所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述基板具有安装表面以及与所述安装表面相反的表面，所述绝缘材料联接至所述基板的与所述安装表面相反的所述表面。

9.根据权利要求8所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述电阻器相对于所述基板的所述孔横向偏移。

10.根据权利要求9所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述电声换能部件是可变电容器，所述可变电容器包括至少部分地位于所述基板的所述孔上方的固定电极和可移动电极，所述固定电极和所述可移动电极中的至少一者形成在所述绝缘材料上。

11.根据权利要求10所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述可移动电极位于所述基板与所述固定电极之间。

12.根据权利要求10所述的微机电系统换能器，其特征在于，所述微机电系统换能器是可变电容器，所述可变电容器包括至少部分地位于所述基板的所述孔上方的固定电极和可移动电极，所述固定电极和所述可移动电极中的至少一者形成在所述绝缘材料上。

13.一种麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括：

壳体，所述壳体包括声端口以及能够表面安装的电接口；

声换能器，所述声换能器设置在所述壳体内，所述声换能器具有电触点；

电阻器，所述电阻器设置在所述壳体中，所述电阻器具有与所述声换能器的电触点电隔离的电触点；以及

集成电路，所述集成电路设置在所述壳体中并且电联接至所述电阻器、所述声换能器以及所述电接口，

其中，所述集成电路被配置成：

向所述电阻器施加电力；以及

响应于检测到所述壳体内的压力变化来检测由所述声换能器生成的声信号，所述壳体内的压力变化是因在施加电力时由所述电阻器生成的热而造成的，

其中，所述声换能器是根据权利要求1至12中的任一项所述的微机电系统换能器。

14.根据权利要求13所述的麦克风组件，其特征在于，所述电阻器与所述声换能器集成。