[实用新型]微机电系统换能器和麦克风组件

说明书

微机电系统换能器和麦克风组件。提供了一种用于集成在麦克风组件中的微机电系统(MEMS)换能器，该MEMS换能器被设计成生成经热产生的声信号。该MEMS换能器通常包括：具有孔的基板，至少部分地位于孔上方并且联接至基板的换能部件，联接至换能部件的电触点，以及与基板或换能部件集成在一起的电阻器。电阻器联接至与MEMS换能器或换能部件的触点电隔离的电触点。该换能部件包括联接至基板的绝缘材料。该换能部件包括至少部分地位于基板的孔上方的固定电极和可移动电极。将该固定电极或移动电极形成在该绝缘材料上。可以将该电阻器形成在该绝缘材料上或者从该绝缘材料悬置。

技术领域

本实用新型涉及微机电系统(MEMS)传感器，特别地，涉及具有设置在同一基板上的电阻器的MEMS传感器。

背景技术

包括微机电系统(MEMS)声换能器的麦克风组件将声能转换成电信号。麦克风组件可以被采用于移动通信装置、膝上型计算机和电器，以及其它的装置和机械。麦克风组件的一个重要参数是声学信噪比(SNR)，它将希望的信号水平(例如，因由麦克风组件捕获的声学干扰而造成的信号幅度)与背景噪声水平进行比较。可以将该信噪比用于确定麦克风组件的功能状态。

实用新型内容

本实用新型的一方面涉及用于集成在麦克风组件中的微机电系统换能器，所述麦克风组件具有壳体，所述微机电系统换能器设置纳在所述壳体中，所述微机电系统换能器包括：基板，所述基板包括孔；电声换能部件，所述电声换能部件至少部分地位于所述孔上方，并且联接至所述基板；电触点，所述电触点联接至所述微机电系统换能器；以及电阻器，所述电阻器联接至与所述微机电系统换能器的所述电触点电隔离的电触点。

本实用新型的另一方面涉及一种麦克风组件，所述麦克风组件包括：壳体，所述壳体包括声端口以及可表面安装的电接口；声换能器，所述声换能器设置在所述壳体内，所述声换能器具有电触点；电阻器，所述电阻器设置在所述壳体中，所述电阻器具有与所述声换能器的所述电触点电隔离的电触点；以及集成电路，所述集成电路设置在所述壳体中并且电联接至所述电阻器、所述声换能器以及所述电接口，其中，所述集成电路被配置成：向所述电阻器施加电力；以及响应于检测到所述壳体内的压力变化来检测由所述声换能器生成的声信号，所述壳体内的压力变化是因在施加电力时由所述电阻器生成的热而造成的。

本实用新型的又一方面涉及麦克风组件，所述麦克风组件包括：壳体，所述壳体具有导热且导电的声端口以及可表面安装的电接口；声换能器，所述声换能器设置在所述壳体内，所述声换能器具有电触点；以及环形电阻器，所述环形电阻器由围绕所述声端口设置的电阻膜形成，所述环形电阻器具有至少一个电触点，所述至少一个电触点被构造成接收来自装置的电力，以驱动所述环形电阻器在所述声端口中产生电阻热。

附图说明

本实用新型的前述和其它特征根据下面结合附图的描述和所附权利要求将完全变得更加显而易见。附图仅描绘了根据本实用新型的几个实施方式，并因此不应被视为对其范围的限制。下面，结合附图对各种实施方式进行更详细描述。

图1是根据例示性实施方式的麦克风组件中的潜在电阻器位置的示意图；

图2是根据第一例示性实施方式的具有自由板振膜和空气绝缘的悬置的电阻器的示例性MEMS换能器的示意图；

图3是根据第二例示性实施方式的具有自由板振膜和空气绝缘的悬置的电阻器的示例性MEMS换能器的示意图；

图4A至图4B是根据第三例示性实施方式的具有受约束振膜和空气绝缘的悬置的电阻器的示例性MEMS换能器的示意图；

图5是根据图2的实施方式的示例性MEMS换能器的三维图；

图6是根据图3的实施方式的示例性MEMS换能器的三维图；

图7是例示音频频带的整个范围的电阻器灵敏度与频率的关系的曲线图；以及