[实用新型]一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置

权利要求书

1.一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱(1)和吸收箱(2)，所述吸收箱(2)的下表面固定安装在回收箱(1)的上表面，其特征在于：所述吸收箱(2)的内侧壁上部固定安装有主支撑板(3)，所述吸收箱(2)的内部下表面与主支撑板(3)的下表面之间设有反应箱(4)，所述吸收箱(2)的内部且位于反应箱(4)的两侧形成有互不连通的检测腔(5)，所述吸收箱(2)的上表面贯穿有主进气管(6)，所述主进气管(6)的底端贯穿主支撑板(3)且伸入到反应箱(4)内，所述吸收箱(2)内设有吸附剂，所述主进气管(6)的底端伸入吸附剂内且固定安装有喷气头(7)，所述喷气头(7)上设有若干个喷气嘴(8)，所述吸收箱(2)的侧壁上部对称设有若干个通孔(9)，所述检测腔(5)的内侧壁上部设有副支撑板(10)，所述副支撑板(10)表面贯穿有副进气管(11)，所述副进气管(11)上设有进气泵(12)，所述检测腔(5)的内侧壁设有气压传感器(13)和氯硅烷浓度传感器(14)，所述检测腔(5)的底面贯穿有主出气管(15)，所述主出气管(15)的一端伸入到回收箱(1)内，所述主出气管(15)上设有主电磁单向阀(16)，所述检测腔(5)侧壁贯穿有副出气管(17)，所述副出气管(17)的一端与主进气管(6)连通，所述副出气管(17)上设有副电磁单向阀(18)，所述气压传感器(13)电连接进气泵(12)和氯硅烷浓度传感器(14)，所述氯硅烷浓度传感器(14)电连接主电磁单向阀(16)和副电磁单向阀(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，其特征在于：所述吸收箱(2)的内部中间位置设有气液反应填料(19)。

3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，其特征在于：所述吸附剂为碱性溶液。

4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，其特征在于：所述喷气嘴(8)设置喷气头(7)的下表面。

5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，其特征在于：所述吸收箱(2)和回收箱(1)的均呈矩形状。

6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，其特征在于：所述副出气管(17)的一端贯穿吸收箱(2)位于主支撑板(3)上部的侧壁与主进气管(6)连通。