[实用新型]一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置

说明书

本实用新型公开了一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱和吸收箱，所述吸收箱的下表面固定安装在回收箱的上表面，所述吸收箱的内侧壁上部固定安装有主支撑板，所述吸收箱的内部下表面与主支撑板的下表面之间设有反应箱，所述吸收箱的内部且位于反应箱的两侧形成有互不连通的检测腔，所述吸收箱的上表面贯穿有主进气管，所述主进气管的底端贯穿主支撑板且伸入到反应箱内，所述吸收箱内设有吸附剂，本实用新型，在对氢气回收过程中，进行氯硅烷浓度的检测，一旦一批次的氢气中氯硅烷的含量过高，将重新进行吸附作用，直到浓度达到为止，从而提高了进入回收箱的氢气纯度，保证后序的工作有效的进行。

技术领域

本实用新型涉及氢气回收技术领域，具体领域为一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置。

背景技术

随着多晶硅行业竞争越来越激烈，为了降低生产成本，加上国家对环保要求更加严格，大部分企业开始进行技术改造，将原排入含氮废气管网的氢气，逐步进行分级回收，得到产品氯硅烷和氢气，达到节能降耗的目的，现有的分级回收系统的工序：第一步，将含有硅粉的氢气，引入干法除尘系统，通过自然沉降、旋风分离、三级除尘除去微量硅粉后，氢气送后工段加压回收，第二步，多晶硅生产过程中，各单元泄压的氢气(不含硅粉)，均含有部分氯硅烷，汇总后进入冷凝回收系统，第三步，在与合成气汇合，通过三级机前换热器冷却降温，除去大部分氯硅烷，第四部，氢气中未被冷凝下来的氯硅烷，通过压缩机加压，经过机后换热器降温冷却，再除去一部分氯硅烷，第五步，将含有微量氯硅烷的氢气，通过吸收塔，进一步吸收微量氯硅烷，得到高纯度的氢气，送后工序使用。

综上所述，现有的分级回收系统虽然可以得到高纯度的氢气，但是一旦氯硅烷含量比较高，无法被吸收塔及时吸收，将会使氢气的纯度下降，从而达不到标准，影响后序的工作使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，以解决上述背景技术中提出现有的分级回收系统虽然可以得到高纯度的氢气，但是一旦氯硅烷含量比较高，无法被吸收塔及时吸收，将会使氢气的纯度下降，从而达不到标准，影响后序的工作使用问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱和吸收箱，所述吸收箱的下表面固定安装在回收箱的上表面，所述吸收箱的内侧壁上部固定安装有主支撑板，所述吸收箱的内部下表面与主支撑板的下表面之间设有反应箱，所述吸收箱的内部且位于反应箱的两侧形成有互不连通的检测腔，所述吸收箱的上表面贯穿有主进气管，所述主进气管的底端贯穿主支撑板且伸入到反应箱内，所述吸收箱内设有吸附剂，所述主进气管的底端伸入吸附剂内且固定安装有喷气头，所述喷气头上设有若干个喷气嘴，所述吸收箱的侧壁上部对称设有若干个通孔，所述检测腔的内侧壁上部设有副支撑板，所述副支撑板表面贯穿有副进气管，所述副进气管上设有进气泵，所述检测腔的内侧壁设有气压传感器和氯硅烷浓度传感器，所述检测腔的底面贯穿有主出气管，所述主出气管的一端伸入到回收箱内，所述主出气管上设有主电磁单向阀，所述检测腔侧壁贯穿有副出气管，所述副出气管的一端与主进气管连通，所述副出气管上设有副电磁单向阀，所述气压传感器电连接进气泵和氯硅烷浓度传感器，所述氯硅烷浓度传感器电连接主电磁单向阀和副电磁单向阀。

优选的，所述吸收箱的内部中间位置设有气液反应填料。

优选的，所述吸附剂为碱性溶液。

优选的，所述喷气嘴设置喷气头的下表面。

优选的，所述吸收箱和回收箱的均呈矩形状。

优选的，所述副出气管的一端贯穿吸收箱位于主支撑板上部的侧壁与主进气管连通。