[实用新型]一种机械式晶圆对中装置

权利要求书

1.一种机械式晶圆对中装置，其特征在于，包括对中安装板(1)，在所述对中安装板(1)上固定设置有提升机构(2)，所述提升机构(2)的输出轴上固定有固定盘(3)；在所述固定盘(3)两侧对称设置的对中块(4)，所述对中块(4)通过驱动机构(5)驱动其向所述固定盘(3)处直线滑移，所述固定盘(3)的表面上设置有向内凹陷的弧形槽(30)，所述弧形槽(30)与负压装置连接。

2.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述对中块(4)靠近所述固定盘的一侧设置有圆弧形的表面。

3.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括在所述对中安装板的上端面上固定的夹持气缸(50)，所述夹持气缸(50)位于所述固定盘(3)的正下方，在所述夹持气缸(50)包括位于所述夹持气缸两端设置的两个输出端(51)，两块所述对中块(4)分别与两个输出端(51)固定。

4.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述提升机构(2)包括提升气缸缸体(20)和提升气缸气缸杆(21)，在所述提升气缸缸体(20)的一侧设置有纵向延伸的导向块(22)，所述提升气缸气缸杆(21)包括位于所述提升气缸缸体内的塞杆(23)和在所述塞杆(23)端部设置的L型基座(24)，所述L型基座(24)的一侧设置有与所述导向块滑动配合的滑轨(25)。

5.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述对中块(4)通过夹持臂(40)与所述驱动机构(5)的输出端固定连接。

6.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述固定盘(3)为圆形，所述弧形槽(30)为若干同心的圆形槽。

7.如权利要求6所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：不同直径的圆形槽之间通过至少一连接槽(31)连通。

8.如权利要求7所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：直线型的所述连接槽(31)所在直线经过过所述固定盘(3)的圆心，所述连接槽(31)的数量为4条。

9.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述弧形槽(30)之间设有隔板(6)，所述隔板(6)顶部设有密封环(7)，晶圆可与所述密封环(7)压紧密封。

10.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述对中块(4)顶部设有一侧壁为弧形的晶圆卡块(8)，所述晶圆卡块(8)用于晶圆的定位卡接，所述晶圆卡块(8)可拆卸的固定在所述对中块(4)顶部。