[实用新型]玻璃晶圆吸附装置

说明书

本实用新型公开了玻璃晶圆吸附装置，包括底座，所述底座的表面安装有放置台，且放置台的内侧表面设置有凹槽，所述底座的外侧表面安装有竖杆，所述竖杆的内侧表面开设有滑道，且滑道的内侧安置有移动台，所述移动台的内部中间设置有圆槽，所述放置台的底部安装有底板。本实用新型提供了玻璃晶圆吸附装置，放置台与底板之间相互配合，根据实际晶圆的尺寸，利用伸缩杆将放置台向往外侧移动，大大增加了放置台的灵活性，放置台内侧设置有凹槽，凹槽与放置台之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台，四组凹槽拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形，根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块上，并且配合弹力拉网可以从底部托住晶圆。

技术领域

本实用新型涉及玻璃晶圆技术领域，具体为玻璃晶圆吸附装置。

背景技术

玻璃晶圆晶是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，然后经过切割抛光，形成晶圆，晶圆在半导体材料上具有重要作用，尤其是应用于电路上，另外，玻璃晶圆作为半导体材料的典型代表，使得玻璃晶圆的应用范围大大增加，尤其是新能源的开发上，玻璃晶圆都可以利用自身的特性起到至关重要的作用。现有的玻璃晶圆在使用时，由于厚度较薄，需要使用吸附装置来进行拿取，常用的吸附装置上的放置机构不够灵活性，不能够进行移动调整，这样就大大降低的装置的灵活性，另外，吸附机构的角度不方便进行调整，不能够根据实际的情况来进行调节。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供玻璃晶圆吸附装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：玻璃晶圆吸附装置，包括底座，所述底座的表面安装有放置台，且放置台的内侧表面设置有凹槽，所述底座的外侧表面安装有竖杆，所述竖杆的内侧表面开设有滑道，且滑道的内侧安置有移动台，所述移动台的内部中间设置有圆槽，所述放置台的底部安装有底板，且底板的内部安装有伸缩杆。

优选的，所述凹槽的内侧包括有弹力拉网和托块，且弹力拉网的一端连接有托块。

优选的，所述凹槽与放置台之间为一体化连接，且凹槽通过弹力拉网与托块之间相互连接。

优选的，所述移动台的表面包括有圆台、圆杆、压杆和连接片，且圆台的表面安装有圆杆，所述圆杆的外侧安置有压杆，所述圆杆的下端连接有连接片。

优选的，所述圆台与移动台之间尺寸相互嵌合，且圆杆关于圆台的中心线呈环状分布。

优选的，所述圆槽的内侧包括有圆孔、拉板、橡胶皮和吸盘，且圆孔的内部设置有拉板，所述拉板的表面连接有橡胶皮，且橡胶皮的内侧表面设置有吸盘。

优选的，所述圆孔的外部形状呈“L”型，且拉板与圆孔均关于圆槽的中心线呈环状分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了玻璃晶圆吸附装置，放置台与底板之间相互配合，根据实际晶圆的尺寸，利用伸缩杆将放置台向往外侧移动，大大增加了放置台的灵活性，放置台内侧设置有凹槽，凹槽与放置台之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台，四组凹槽拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形，根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块上，并且配合弹力拉网可以从底部托住晶圆；

移动台与滑道之间相互配合，移动台可以沿着竖杆的竖直方向下移，让圆台更加靠近放置台上的晶圆，然后，使用压杆将圆台下压，让圆台继续下移，直至套在晶圆的外侧，圆台与移动台之间可以分离，大大增加了圆台的灵活性；

圆槽采用的是“L”型的设计，这样可以让圆杆通过连接片与拉板之间相互连接，三者为一体结构，当圆杆上移时，会将拉板带进圆槽中，橡胶皮会因为受到挤压，而开始上下合并，促使橡胶皮上下两侧逐渐靠近晶圆的上下表面，直至夹住晶圆，吸盘会对晶圆进行吸附，增加整个过程的稳定性，圆杆设置有多组，这样可以随意调节任意方向的吸盘，同时圆杆之间可以互相独立使用，大大增加了灵活性。

附图说明