[实用新型]一种暂存装置及镀膜设备

权利要求书

1.一种暂存装置，设置在传输线的两工序装置之间，其特征在于，包括：

暂存机构，包括至少两个暂存台(1)，所述暂存台(1)的承载面与所述传输线的传输方向平行设置，所述暂存台(1)的承载面的承载量至少大于两工序装置中任一个的单次工艺加工量；

至少一组驱动机构，所述驱动机构包括至少一个对接驱动器(21)，所述对接驱动器(21)的驱动端与每个所述暂存台(1)连接，所述对接驱动器(21)驱动所述承载面与所述传输线上相邻的装置连接。

2.根据权利要求1中所述的暂存装置，其特征在于，所述对接驱动器(21)的驱动方向相对于所述传输方向呈夹角设置。

3.根据权利要求2中所述的暂存装置，其特征在于，所述驱动方向相对于所述传输方向呈垂直设置。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的暂存装置，其特征在于，包括至少两组驱动机构，所述驱动机构呈对称地设置在所述暂存台(1)的两侧。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的暂存装置，其特征在于，还包括到位检测结构(3)，所述到位检测结构(3)安装在所述承载面上，用以检测所述承载面上的待加工件(5)的到位。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的暂存装置，其特征在于，还包括压力检测结构(23)，所述压力检测结构(23)安装在所述驱动端上，用以检测所述驱动端的压力。

7.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

权利要求1-6中任一项所述暂存装置(61)，所述暂存装置(61)设置于相邻的工序装置之间；

传输机构，用以带动所述承载面上的待加工件(5)沿传输方向传输。

8.根据权利要求7中所述的镀膜设备，其特征在于，所述传输机构包括：

传输滚轮(4)，设置在所述暂存台(1)上；

滚轮驱动器，所述滚轮驱动器与所述传输滚轮(4)连接，且所述滚轮驱动器带动所述传输滚轮(4)的转动。

9.根据权利要求7中所述的镀膜设备，其特征在于，所述传输机构为机械手，所述机械手具有夹持所述待加工件沿所述传输方向传输的传输状态；以及具有沿复位方向空载的复位状态；

所述传输方向为由在前工序装置向在后工序装置输送的方向；所述复位方向为由所述在后工序装置向所述在前工序装置复位的方向。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的镀膜设备，其特征在于，在相邻的工序装置中，在前工序装置完成一次镀膜的工艺时间比在后工序装置完成一次镀膜的工艺时间短，所述暂存台(1)的承载面的承载量大于所述在前工序装置的一次镀膜加工量。