[实用新型]一种薄膜压力传感器

权利要求书

1.一种薄膜压力传感器，包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层，其特征在于：所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片，所述第一箔片形成第一电极；所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片，所述第二箔片形成第二电极；所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔。

2.如权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一箔片与所述第一基材之间设置有第一胶层，所述第一胶层粘接所述第一箔片与所述第一基材。

3.如权利要求2所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一胶层为热固性胶水或热熔胶膜。

4.如权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第二箔片与所述第二基材之间设置有第二胶层，所述第二胶层粘接所述第二箔片与所述第二基材。

5.如权利要求4所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第二胶层为热固性胶水或热熔胶膜。

6.如权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一箔片和/或第二箔片上形成有碳油电阻膜。

7.如权利要求1-6任一项所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一电极与第二电极错开设置，两者之间形成有间隔区。

8.如权利要求1-6任一项所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述隔离层为环状，所述隔离层形成有开口连通所述空腔与外界。

9.如权利要求8所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述隔离层为绝缘性压敏双面胶。

10.如权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述薄膜压力传感器为长条形、圆形、椭圆形、跑道形或者方形。