[实用新型]一种薄膜压力传感器有效
申请号: | 202022713762.X | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN213516113U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 罗海涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市慧力迅科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/20 | 分类号: | G01L1/20 |
代理公司: | 深圳市沃德知识产权代理事务所(普通合伙) 44347 | 代理人: | 于志光;高杰 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 压力传感器 | ||
本实用新型公开一种薄膜压力传感器,包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层,所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片,所述第一箔片形成第一电极;所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片,所述第二箔片形成第二电极;所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔,本实用新型薄膜压力传感器采用箔片作为导电线路,相较于现有银浆线路的压力传感器结构,没有银浆印刷对环境的污染,同时导电性能更好、抗氧化性更佳、使用寿命更长。
技术领域
本实用新型涉及传感器技术领域,特别是涉及一种薄膜压力传感器。
背景技术
压力传感器通常由具有电极的衬底和导电薄膜构成,初始时电极与导电薄膜相间隔,两者之间形成变形空腔。使用时,导电薄膜受压产生变形与电极接触导通,随着导电薄膜与电极接触面积的增加,两者之间的电流增加,从而改变传感器的输出电阻,得到压力与输出电阻的关系。
随着压力传感器的发展,其应用越来越广,如作为薄膜开关等广泛应用于智能家居、白色家电、医疗陪护等领域,这也对产品的品质和使用寿命,以及环境保护提出了更高的要求。现有薄膜压力传感器的导电线路为印刷导电银浆线路,其耐磨性和抗氧化性较差,使用寿命较短,尤其是尺寸较长时,其导通电阻较大,为降低导通电阻通常采用印刷更宽更厚的银浆线路,从而消耗更多的银等资源,成本很高;另外相关印刷银浆线路的制程对环境污染较大,不符合节能环保的要求。
发明内容
有鉴于此,提供一种导电性好、使用寿命长的薄膜压力传感器。
本实用新型提供一种薄膜压力传感器,包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层,所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片,所述第一箔片形成第一电极;所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片,所述第二箔片形成第二电极;所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔。。
进一步地,所述第一箔片与所述第一基材之间设置有第一胶层,所述第一胶层粘接所述第一箔片与所述第一基材。
进一步地,所述第一胶层为热固性胶水或热熔胶膜。
进一步地,所述第二箔片与所述第二基材之间设置有第二胶层,所述第二胶层粘接所述第二箔片与所述第二基材。
进一步地,所述第二胶层为热固性胶水或热熔胶膜。
进一步地,所述第一箔片和/或第二箔片上形成有碳油电阻膜。
进一步地,所述第一电极与第二电极错开设置,两者之间形成有间隔区。
进一步地,所述隔离层为环状,所述隔离层形成有开口连通所述空腔与外界。
进一步地,所述隔离层为绝缘性压敏双面胶。
进一步地,所述薄膜压力传感器为长条形、圆形、椭圆形、跑道形或者方形。
相较于现有技术,本实用新型薄膜压力传感器采用箔片作为导电线路,相较于现有银浆线路的压力传感器结构,没有银浆印刷对环境的污染,同时导电性能更好、抗氧化性更佳、使用寿命更长。
附图说明
图1是本实用新型薄膜压力传感器一实施例的结构示意图。
图2为图1所示薄膜压力传感器的爆炸图。
图3为图2所示薄膜压力传感器的第一导电片的爆炸图。
图4为图2所示薄膜压力传感器的第二导电片的爆炸图。
图5是本实用新型薄膜压力传感器第二实施例的结构示意图。
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