[实用新型]加速度传感器及电子设备

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：

衬底；

质量块，其中，所述质量块包括第一区域和第二区域，所述质量块与所述衬底可动连接，以使得在所述第一区域和所述第二区域围绕垂直于所述质量块所在平面的Z轴扭转时，所述加速度传感器检测X方向上的加速度，所述X方向位于所述平面内。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述质量块上设置有沿所述X方向延伸的第一弹簧梁，所述第一弹簧梁位于所述第一区域和所述第二区域之间，所述第一区域和所述第二区域之间通过所述第一弹簧梁的中部相互连接。

3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一区域的重心到所述第一弹簧梁的距离大于所述第二区域的重心到所述第一弹簧梁的距离。

4.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述质量块上设置有沿所述X方向延伸的第二弹簧梁和第三弹簧梁，所述第二弹簧梁位于所述第一区域的外侧，所述第三弹簧梁位于所述第二区域的外侧，在所述第一区域和所述第二区域沿Y方向运动时，所述加速度传感器检测所述Y方向上的加速度。

5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，所述衬底上设置有第一固定点和第二固定点，所述第一固定点与所述第二弹簧梁连接，所述第二固定点与所述第三弹簧梁连接。

6.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一区域上设置有第一可动电极，第二可动电极，所述衬底上设置有第一固定电极和第二固定电极，所述第一可动电极与所述第一固定电极构成第一电容，所述第二可动电极与所述第二固定电极构成第二电容，所述第一电容的电容变化方向与所述第二电容的电容变化方向相反，所述第一电容与所述第二电容用于检测所述X方向上的加速度。

7.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一区域上设置有至少一个镂空区域，在所述至少一个镂空区域的每个镂空区域中，所述衬底上设置有至少一个第三固定电极，所述镂空区域的侧壁与所述至少一个第三固定电极形成第三电容，所述第三电容用于检测Y方向上的加速度。

8.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，所述衬底上设置有第四固定电极，所述第四固定电极与所述第一区域之间形成第四电容，所述第四电容用于在所述第一区域和所述第二区域绕所述第一弹簧梁转动时检测Z方向上的加速度。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，所述衬底上设置有用于检测所述X方向上的加速度的第一固定电极和第二固定电极、用于检测Y方向上的加速度的第三固定电极和第五固定电极、用于检测Z方向上的加速度的第四固定电极和第六固定电极，其中，所述第一固定电极、所述第三固定电极和所述第四固定电极分别与位于所述衬底一侧的引线连接，所述第二固定电极、所述第五固定电极和所述第六固定电极分别与位于所述衬底另一侧的引线连接。

10.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中的任一项所述的加速度传感器。