[实用新型]加速度传感器及电子设备

说明书

本申请提供了一种加速度传感器及电子设备，该加速度传感器包括：衬底；质量块，其中，质量块包括第一区域和第二区域，质量块与衬底可动连接，以使得在第一区域和第二区域围绕垂直于质量块所在平面的Z轴扭转时，加速度传感器检测X方向上的加速度，X方向位于平面内。本申请实施例提供的加速度传感器能够显著减小质量块的尺寸以及芯片面积，进而实现加速度传感器的小型化。

技术领域

本申请涉及传感器领域，具体涉及一种加速度传感器及电子设备。

背景技术

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)的加速度传感器因具有体积小、重量轻、成本低、易于集成和实现智能化等特点，而被广泛应用于驾驶、医疗等各个领域。现有的MEMS加速度传感器通常是通过质量块的平移来检测X或Y方向上的加速度，这种MEMS加速度传感器的芯片面积较大，且成本高。

实用新型内容

有鉴于此，本申请实施例提供了一种加速度传感器及电子设备，能够减小芯片面积、降低成本。

第一方面，本申请提供了一种加速度传感器，包括：衬底；质量块，其中，质量块包括第一区域和第二区域，质量块与衬底可动连接，以使得在第一区域和第二区域围绕垂直于质量块所在平面的Z轴扭转时，加速度传感器检测X方向上的加速度，X方向位于平面内。

在某些实施例中，质量块上设置有沿X方向延伸的第一弹簧梁，第一弹簧梁位于第一区域和第二区域之间，第一区域和第二区域之间通过第一弹簧梁的中部相互连接。

在某些实施例中，第一区域的重心到第一弹簧梁的距离大于第二区域的重心到第一弹簧梁的距离。

在某些实施例中，质量块上设置有沿X方向延伸的第二弹簧梁和第三弹簧梁，第二弹簧梁位于第一区域的外侧，第三弹簧梁位于第二区域的外侧，在第一区域和第二区域沿Y方向运动时，加速度传感器检测Y方向上的加速度。

在某些实施例中，衬底上设置有第一固定点和第二固定点，第一固定点与第二弹簧梁连接，第二固定点与第三弹簧梁连接。

在某些实施例中，第一区域上设置有第一可动电极，第二可动电极，衬底上设置有第一固定电极和第二固定电极，第一可动电极与第一固定电极构成第一电容，第二可动电极与第二固定电极构成第二电容，第一电容的电容变化方向与第二电容的电容变化方向相反，第一电容与第二电容用于检测X方向上的加速度。

在某些实施例中，第一区域上设置有至少一个镂空区域，在至少一个镂空区域的每个镂空区域中，衬底上设置有至少一个第三固定电极，镂空区域的侧壁与至少一个第三固定电极形成第三电容，第三电容用于检测Y方向上的加速度。

在某些实施例中，衬底上设置有第四固定电极，第四固定电极与第一区域之间形成第四电容，第四电容用于在第一区域和第二区域绕第一弹簧梁转动时检测Z方向上的加速度。

在某些实施例中，衬底上设置有用于检测X方向上的加速度的第一固定电极和第二固定电极、用于检测Y方向上的加速度的第三固定电极和第五固定电极、用于检测Z方向上的加速度的第四固定电极和第六固定电极，其中，第一固定电极、第三固定电极和第四固定电极分别与位于衬底一侧的引线连接，第二固定电极、第五固定电极和第六固定电极分别与位于衬底另一侧的引线连接。

第二方面，本申请提供了一种电子设备，包括第一方面所述的加速度传感器。

本申请实施例提供了一种加速度传感器及电子设备，通过将质量块设置成可相互围绕垂直于质量块所在平面的Z轴扭转的第一区域和第二区域，并基于该第一区域和第二区域的相互扭转来检测X方向上的加速度，可以显著减小质量块的尺寸以及芯片面积，进而实现加速度传感器的小型化。

附图说明

图1所示为本申请一实施例提供的加速度传感器的结构示意图。