[实用新型]掩模装置及蒸镀系统

说明书

本实用新型涉及显示设备技术领域，具体公开一种掩模装置及蒸镀系统。本实用新型的掩模装置包括掩模框架，掩模框架上固定设置有一层掩模架，掩模架包括多个固定连接的掩模条，每个掩模条上背离掩模框架的一侧设置有至少一个第一支撑片，第一支撑片包括固定连接的第一支撑基座和第一支撑端，第一支撑基座与掩模条固定连接，第一支撑端的宽度小于掩模条的宽度，第一支撑端能够抵接玻璃的表面。本实用新型的掩模装置能够减少玻璃的刮痕缺陷，也避免造成屏幕显示不良。

技术领域

本实用新型涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种掩模装置及蒸镀系统。

背景技术

目前，新型显示装置的有机发光显示(OLED)屏幕是自发光型装置，也就是说，OLED屏幕不需要任何背光。其中，OLED元件由n型有机材料、p型有机材料、阴极金属及阳极金属所构成。电子(空穴)由阴极(阳极)注入，经过n型(p型)有机材料传导至发光层(一般为n型材料)，经由再结合而放光。一般而言，OLED元件制作的玻璃基板上先溅镀ITO(Indium TinOxides氧化铟锡)作为阳极，再以真空热蒸镀之方式，依序镀上p型和n型有机材料，及低功函数的金属阴极。由于有机材料易与水气或氧气作用，产生暗点(Dark spot)而使OLED元件不发亮。因此OLED元件在真空镀膜完毕后，必须于无水气及氧气之环境下进行封装工艺。

对OLED装置中的玻璃进行蒸镀时，一般是通过掩模板以及设置在掩模板上的至少两层掩模条来支撑玻璃，以辅助固定玻璃并遮挡气化的有机材料。然而，掩模条的边缘部分可能会对玻璃造成刮痕缺陷，而且，掩模条的层与层之间的空隙可能会残留有化学药剂，在化学药剂挥发后会在玻璃上残留痕迹，造成OLED屏幕显示不良。

实用新型内容

本实用新型实施例的一个目的在于，提供一种掩模装置，其能够减少玻璃的刮痕缺陷，也避免造成屏幕显示不良。

本实用新型实施例的另一个目的在于，提供一种蒸镀系统，其成本低，良品率高。

为达此目的，本实用新型实施例采用以下技术方案：

第一方面，提供一种掩模装置，包括掩模框架，所述掩模框架上固定设置有一层掩模架，所述掩模架包括多个固定连接的掩模条，每个所述掩模条上背离所述掩模框架的一侧设置有至少一个第一支撑片，所述第一支撑片包括固定连接的第一支撑基座和第一支撑端，所述第一支撑基座与所述掩模条固定连接，所述第一支撑端的宽度小于所述掩模条的宽度，所述第一支撑端能够抵接玻璃的表面。

作为掩模装置的一种优选方案，还包括第二支撑片，所述第二支撑片包括相互固定连接的第二支撑基座和第二支撑端，所述第二支撑基座与所述第一支撑端可拆卸连接，所述第二支撑端能够抵接所述玻璃的表面。

作为掩模装置的一种优选方案，所述第二支撑基座的宽度小于或等于所述第一支撑端的宽度。

作为掩模装置的一种优选方案，所述第一支撑端的端面和/或所述第二支撑端的端面为环形。

作为掩模装置的一种优选方案，所述第一支撑端的端面和/或所述第二支撑端的端面设置有缓冲层。

作为掩模装置的一种优选方案，所述第一支撑端和所述第二支撑基座之间，或，所述第一支撑基座与所述掩模条之间，或，所述掩模条与所述掩模框架之间设置有熔接层。

作为掩模装置的一种优选方案，所述第一支撑片和所述第二支撑片由金属制成。

作为掩模装置的一种优选方案，两个所述掩模条交叉重叠设置，以形成一层所述掩模架。

作为掩模装置的一种优选方案，还包括设置在所述掩模框架上靠近所述玻璃一侧的吸附结构，所述吸附结构能够固定所述玻璃。

第二方面，提供一种蒸镀系统，包括蒸镀机，及所述掩模装置，所述掩模装置的第一支撑片能够抵接玻璃，所述蒸镀机朝向所述玻璃。