[实用新型]一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构

权利要求书

1.一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，包括减速电机(1)、磁控溅射靶材(6)、轭铁(7)和防护外壳组件(15)，其特征在于：所述防护外壳组件(15)内插接有出水接头(16)和进水接头(17)，所述防护外壳组件(15)的底端设有磁控溅射靶材(6)，所述磁控溅射靶材(6)内活动安装有轭铁(7)，所述防护外壳组件(15)的内部设有主轴旋转皮带轮(3)，所述防护外壳组件(15)的一侧固定有减速电机(1)，所述防护外壳组件(15)的外表面位于减速电机(1)的下方安装有真空腔体(4)，所述减速电机(1)的输出端设有同步带(2)，所述减速电机(1)通过同步带(2)与主轴旋转皮带轮(3)传动连接，所述防护外壳组件(15)的内部位于进水接头(17)的一侧设有空气密封圈(11)，所述空气密封圈(11)上设有压缩空气连接管(12)，所述防护外壳组件(15)的内部位于空气密封圈(11)的两侧分别设有二级密封圈(10)和一级密封圈(13)，所述防护外壳组件(15)的内部转动安装有旋转主轴(8)，且所述进水接头(17)插接安装在旋转主轴(8)内。

2.根据权利要求1所述的一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，其特征在于：所述出水接头(16)和进水接头(17)通过磁控溅射靶材(6)相互连通。

3.根据权利要求1所述的一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，其特征在于：所述一级密封圈(13)共设有两个，且两个一级密封圈(13)堆叠安装在空气密封圈(11)的上方，所述二级密封圈(10)安装在空气密封圈(11)的下方。

4.根据权利要求1所述的一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，其特征在于：所述主轴旋转皮带轮(3)的两侧表面均镶嵌安装有唇形密封圈(9)。

5.根据权利要求1所述的一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，其特征在于：所述防护外壳组件(15)内与真空腔体(4)相对应处安装有磁流体真空密封组件(5)。

6.根据权利要求1所述的一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，其特征在于：所述旋转主轴(8)的底端与磁控溅射靶材(6)相互连通，所述旋转主轴(8)背离磁控溅射靶材(6)的一端与出水接头(16)相互连通。

7.根据权利要求1所述的一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，其特征在于：所述旋转主轴(8)的外侧表面位于旋转主轴(8)与出水接头(16)的连接处套接有主轴密封套(14)。